6 na pulgada 150mm Silicon Carbide SiC Wafers na uri 4H-N para sa MOS o SBD Production Research at Dummy grade
Mga Patlang ng Aplikasyon
Ang 6-pulgadang silicon carbide single crystal substrate ay gumaganap ng mahalagang papel sa maraming industriya. Una, malawak itong ginagamit sa industriya ng semiconductor para sa paggawa ng mga high-power electronic device tulad ng mga power transistor, integrated circuit, at power module. Ang mataas na thermal conductivity at high-temperature resistance nito ay nagbibigay-daan sa mas mahusay na heat dissipation, na nagreresulta sa pinahusay na kahusayan at pagiging maaasahan. Pangalawa, ang mga silicon carbide wafer ay mahalaga sa mga larangan ng pananaliksik para sa pagbuo ng mga bagong materyales at device. Bukod pa rito, ang silicon carbide wafer ay malawak na ginagamit sa larangan ng optoelectronics, kabilang ang paggawa ng mga LED at laser diode.
Mga Detalye ng Produkto
Ang 6-pulgadang silicon carbide single crystal substrate ay may diyametrong 6 na pulgada (humigit-kumulang 152.4 mm). Ang surface roughness ay Ra < 0.5 nm, at ang kapal ay 600 ± 25 μm. Ang substrate ay maaaring ipasadya gamit ang alinman sa N-type o P-type conductivity, batay sa mga kinakailangan ng customer. Bukod dito, nagpapakita ito ng pambihirang mekanikal na katatagan, na kayang tiisin ang presyon at panginginig ng boses.
| Diyametro | 150±2.0mm(6 pulgada) | ||||
| Kapal | 350 μm±25 μm | ||||
| Oryentasyon | Sa aksis: <0001>±0.5° | Malayo sa aksis:4.0° patungo sa 1120±0.5° | |||
| Politipo | 4H | ||||
| Resistivity (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Pangunahing patag na oryentasyon | {10-10}±5.0° | ||||
| Pangunahing haba ng patag (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
| Gilid | Yumuko | ||||
| TTV/Pana/Pakulot (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Harap (Si-face) | Polish Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Balat ng kahel/mga butas/mga bitak/kontaminasyon/mga mantsa/mga guhit | Wala | Wala | Wala | ||
| mga indent | Wala | Wala | Wala | ||
Ang 6-pulgadang silicon carbide single crystal substrate ay isang high-performance na materyal na malawakang ginagamit sa mga industriya ng semiconductor, pananaliksik, at optoelectronics. Nag-aalok ito ng mahusay na thermal conductivity, mechanical stability, at high-temperature resistance, kaya angkop ito para sa paggawa ng mga high-power electronic device at pananaliksik sa mga bagong materyal. Nagbibigay kami ng iba't ibang mga detalye at opsyon sa pagpapasadya upang matugunan ang iba't ibang pangangailangan ng customer.Makipag-ugnayan sa amin para sa karagdagang detalye tungkol sa mga silicon carbide wafer!
Detalyadong Dayagram






