6inch 150mm Silicon Carbide SiC Wafers 4H-N type para sa MOS o SBD Production Research at Dummy grade
Mga Patlang ng Application
Ang 6-inch na silicon carbide na solong kristal na substrate ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa maraming mga industriya. Una, ito ay malawakang ginagamit sa industriya ng semiconductor para sa paggawa ng mga high-power na elektronikong device tulad ng power transistors, integrated circuits, at power modules. Ang mataas na thermal conductivity at mataas na temperatura na resistensya nito ay nagbibigay-daan sa mas mahusay na pag-alis ng init, na nagreresulta sa pinabuting kahusayan at pagiging maaasahan. Pangalawa, ang mga wafer ng silicon carbide ay mahalaga sa mga larangan ng pananaliksik para sa pagbuo ng mga bagong materyales at aparato. Bukod pa rito, ang silicon carbide wafer ay nakakahanap ng malawak na aplikasyon sa larangan ng optoelectronics, kabilang ang pagmamanupaktura ng mga LED at laser diodes.
Mga Detalye ng Produkto
Ang 6-inch na silicon carbide na solong kristal na substrate ay may diameter na 6 na pulgada (humigit-kumulang 152.4 mm). Ang pagkamagaspang sa ibabaw ay Ra <0.5 nm, at ang kapal ay 600 ± 25 μm. Maaaring i-customize ang substrate gamit ang alinman sa N-type o P-type na conductivity, batay sa mga kinakailangan ng customer. Bukod dito, ito ay nagpapakita ng pambihirang mekanikal na katatagan, na may kakayahang makatiis ng presyon at panginginig ng boses.
diameter | 150±2.0mm(6inch) | ||||
kapal | 350 μm±25μm | ||||
Oryentasyon | Sa axis: <0001>±0.5° | Off axis:4.0° patungo sa 1120±0.5° | |||
Polytype | 4H | ||||
Resistivity(Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Pangunahing patag na oryentasyon | {10-10}±5.0° | ||||
Pangunahing patag na haba (mm) | 47.5 mm±2.5 mm | ||||
gilid | Chamfer | ||||
TTV/Bow /Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM Front (Si-face) | Polish Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
Balat ng orange/mga hukay/bitak/kontaminasyon/mantsa/striations | wala | wala | wala | ||
mga indent | wala | wala | wala |
Ang 6-inch silicon carbide single crystal substrate ay isang high-performance na materyal na malawakang ginagamit sa mga industriya ng semiconductor, pananaliksik, at optoelectronics. Nag-aalok ito ng mahusay na thermal conductivity, mechanical stability, at mataas na temperatura na resistensya, na ginagawang angkop para sa paggawa ng mga high-power na electronic device at bagong materyal na pananaliksik. Nagbibigay kami ng iba't ibang mga pagtutukoy at mga pagpipilian sa pagpapasadya upang matugunan ang magkakaibang mga pangangailangan ng customer.Makipag-ugnayan sa amin para sa higit pang mga detalye sa mga wafer ng silicon carbide!