12pulgadang Ganap na Awtomatikong Kagamitan sa Paglalaga para sa Pagdidikdik na may Wafer Dedicated Cutting System para sa Si/SiC at HBM (Al)
Mga teknikal na parameter
| Parametro | Espesipikasyon |
| Laki ng Paggawa | Φ8", Φ12" |
| Spindle | Dalawahang-aksis 1.2/1.8/2.4/3.0, Max 60000 rpm |
| Sukat ng Talim | 2" ~ 3" |
| Aksis ng Y1 / Y2
| Pagdagdag ng isang hakbang: 0.0001 mm |
| Katumpakan sa pagpoposisyon: < 0.002 mm | |
| Saklaw ng paggupit: 310 mm | |
| X-Axis | Saklaw ng bilis ng pagpapakain: 0.1–600 mm/s |
| Aksis ng Z1 / Z2
| Pagdagdag ng isang hakbang: 0.0001 mm |
| Katumpakan ng pagpoposisyon: ≤ 0.001 mm | |
| Aksis ng θ | Katumpakan ng pagpoposisyon: ±15" |
| Istasyon ng Paglilinis
| Bilis ng pag-ikot: 100–3000 rpm |
| Paraan ng paglilinis: Awtomatikong banlawan at patuyuin gamit ang spin-dry | |
| Boltahe ng Operasyon | 3-phase 380V 50Hz |
| Mga Dimensyon (L×D×H) | 1550×1255×1880 mm |
| Timbang | 2100 kg |
Prinsipyo ng Paggawa
Nakakamit ng kagamitan ang mataas na katumpakan na pagputol gamit ang mga sumusunod na teknolohiya:
1.High-Rigidity Spindle System: Ang bilis ng pag-ikot ay hanggang 60,000 RPM, nilagyan ng mga diamond blade o laser cutting head upang umangkop sa iba't ibang katangian ng materyal.
2. Kontrol sa Paggalaw na Maraming Axis: Katumpakan sa pagpoposisyon ng X/Y/Z-axis na ±1μm, ipinares sa mga high-precision na rehas na bakal upang matiyak ang mga landas ng paggupit na walang paglihis.
3. Matalinong Pag-align ng Biswal: Awtomatikong kinikilala ng high-resolution na CCD (5 megapixels) ang mga kalsadang pinutol at binabayaran ang pagbaluktot o maling pag-align ng materyal.
4. Pagpapalamig at Pag-alis ng Alikabok: Pinagsamang sistema ng pagpapalamig na purong tubig at pag-alis ng alikabok mula sa vacuum suction upang mabawasan ang thermal impact at kontaminasyon ng particle.
Mga Mode ng Paggupit
1. Paghiwa gamit ang Talim: Angkop para sa mga tradisyonal na materyales na semiconductor tulad ng Si at GaAs, na may lapad ng kerf na 50–100μm.
2. Stealth Laser Dicing: Ginagamit para sa mga ultra-thin wafer (<100μm) o mga marupok na materyales (hal., LT/LN), na nagbibigay-daan sa paghihiwalay na walang stress.
Karaniwang mga Aplikasyon
| Mga Katugmang Materyal | Patlang ng Aplikasyon | Mga Kinakailangan sa Pagproseso |
| Silikon (Si) | Mga IC, sensor ng MEMS | Mataas na katumpakan na pagputol, pagpuputol ng chips <10μm |
| Silikon Carbide (SiC) | Mga aparatong pang-kuryente (MOSFET/diode) | Pagputol na mababa ang pinsala, pag-optimize sa pamamahala ng init |
| Gallium Arsenide (GaAs) | Mga aparatong RF, mga optoelectronic chip | Pag-iwas sa micro-crack, pagkontrol sa kalinisan |
| Mga Substrate ng LT/LN | Mga filter ng SAW, mga optical modulator | Pagputol na walang stress, pinapanatili ang mga katangiang piezoelectric |
| Mga Seramik na Substrate | Mga modyul ng kuryente, LED packaging | Pagproseso ng materyal na may mataas na tigas, patag na gilid |
| Mga Frame ng QFN/DFN | Advanced na packaging | Multi-chip sabay-sabay na pagputol, pag-optimize ng kahusayan |
| Mga Wafer ng WLCSP | Pagbabalot sa antas ng wafer | Paghiwa-hiwa nang walang pinsala ng mga ultra-thin wafer (50μm) |
Mga Kalamangan
1. Mataas na bilis na pag-scan ng cassette frame na may mga alarma para sa pag-iwas sa banggaan, mabilis na paglipat ng posisyon, at malakas na kakayahan sa pagwawasto ng error.
2. Na-optimize na dual-spindle cutting mode, na nagpapabuti sa kahusayan ng humigit-kumulang 80% kumpara sa mga single-spindle system.
3. Mga ball screw na inangkat nang may katumpakan, mga linear guide, at Y-axis grating scale closed-loop control, na tinitiyak ang pangmatagalang katatagan ng high-precision machining.
4. Ganap na awtomatikong paglo-load/pagbaba ng karga, paglilipat ng posisyon, pagputol ng pagkakahanay, at inspeksyon ng kerf, na makabuluhang binabawasan ang workload ng operator (OP).
5. Istrukturang pagkakabit ng spindle na istilong gantry, na may minimum na dual-blade spacing na 24mm, na nagbibigay-daan sa mas malawak na kakayahang umangkop para sa mga proseso ng pagputol na may dual-spindle.
Mga Tampok
1. Mataas na katumpakan na pagsukat ng taas na hindi nakadikit.
2. Pagputol gamit ang dalawang talim na multi-wafer sa iisang tray.
3. Awtomatikong pagkakalibrate, inspeksyon ng kerf, at mga sistema ng pagtukoy ng pagkabasag ng talim.
4. Sinusuportahan ang magkakaibang proseso gamit ang mga mapipiling awtomatikong algorithm ng pagkakahanay.
5. Pag-andar ng pagwawasto sa sarili ng pagkakamali at real-time na pagsubaybay sa maraming posisyon.
6. Kakayahang inspeksyon sa unang hiwa pagkatapos ng unang pagtadtad.
7. Nako-customize na mga module ng automation ng pabrika at iba pang opsyonal na mga function.
Mga Serbisyo sa Kagamitan
Nagbibigay kami ng komprehensibong suporta mula sa pagpili ng kagamitan hanggang sa pangmatagalang pagpapanatili:
(1) Pasadyang Pag-unlad
· Magrekomenda ng mga solusyon sa pagputol gamit ang talim/laser batay sa mga katangian ng materyal (hal., katigasan ng SiC, kalupitan ng GaAs).
· Mag-alok ng libreng pagsubok ng sample upang mapatunayan ang kalidad ng pagputol (kabilang ang pagkapira-piraso, lapad ng kerf, pagkamagaspang ng ibabaw, atbp.).
(2) Teknikal na Pagsasanay
· Pangunahing Pagsasanay: Pagpapatakbo ng kagamitan, pagsasaayos ng mga parameter, regular na pagpapanatili.
· Mga Abanteng Kurso: Pag-optimize ng proseso para sa mga kumplikadong materyales (hal., pagputol nang walang stress ng mga substrate ng LT).
(3) Suporta Pagkatapos ng Pagbebenta
· 24/7 na Tugon: Malayuang pag-diagnose o tulong sa lugar.
· Supply ng mga Ekstrang Bahagi: Mga naka-stock na spindle, blade, at mga optical component para sa mabilis na pagpapalit.
· Preventive Maintenance: Regular na kalibrasyon upang mapanatili ang katumpakan at pahabain ang buhay ng serbisyo.
Ang Aming Mga Kalamangan
✔ Karanasan sa Industriya: Naglilingkod sa mahigit 300 pandaigdigang tagagawa ng semiconductor at electronics.
✔ Makabagong Teknolohiya: Tinitiyak ng mga precision linear guide at servo system ang nangunguna sa industriyang katatagan.
✔ Pandaigdigang Network ng Serbisyo: Saklaw sa Asya, Europa, at Hilagang Amerika para sa lokal na suporta.
Para sa mga katanungan o pagsusuri, makipag-ugnayan sa amin!












