8Inch 200mm 4H-N SiC Wafer Conductive dummy research grade

Maikling Paglalarawan:

Habang umuunlad ang mga merkado ng transportasyon, enerhiya at pang-industriya, patuloy na lumalaki ang pangangailangan para sa maaasahan at mataas na pagganap na power electronics. Upang matugunan ang mga pangangailangan para sa pinahusay na pagganap ng semiconductor, ang mga manufacturer ng device ay naghahanap ng malawak na bandgap na mga semiconductor na materyales, tulad ng aming 4H SiC Prime Grade portfolio ng 4H n -type na silicon carbide (SiC) na wafer.


Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Dahil sa kakaibang pisikal at elektronikong katangian nito, ginagamit ang 200mm SiC wafer semiconductor na materyal upang lumikha ng mataas na pagganap, mataas na temperatura, lumalaban sa radiation, at mataas na dalas na mga elektronikong aparato. Ang 8inch na SiC substrate na presyo ay unti-unting bumababa habang ang teknolohiya ay nagiging mas advanced at ang demand ay lumalaki. Ang mga kamakailang pag-unlad ng teknolohiya ay humahantong sa paggawa ng scale ng produksyon ng 200mm SiC wafers. Ang mga pangunahing bentahe ng SiC wafer semiconductor na materyales kumpara sa Si at GaAs na mga wafer: Ang lakas ng patlang ng kuryente ng 4H-SiC sa panahon ng pagkasira ng avalanche ay higit sa isang order ng magnitude na mas mataas kaysa sa kaukulang mga halaga para sa Si at GaAs. Ito ay humahantong sa isang makabuluhang pagbaba sa on-state resistivity Ron. Ang mababang resistivity sa estado, na sinamahan ng mataas na kasalukuyang density at thermal conductivity, ay nagbibigay-daan sa paggamit ng napakaliit na die para sa mga power device. Ang mataas na thermal conductivity ng SiC ay binabawasan ang thermal resistance ng chip. Ang mga elektronikong katangian ng mga device na nakabatay sa SiC wafers ay napaka-stable sa paglipas ng panahon at sa temperature stable, na nagsisiguro ng mataas na pagiging maaasahan ng mga produkto. Ang Silicon carbide ay lubos na lumalaban sa matigas na radiation, na hindi nagpapasama sa mga elektronikong katangian ng chip. Ang mataas na paglilimita sa temperatura ng pagpapatakbo ng kristal (higit sa 6000C) ay nagbibigay-daan sa iyo na lumikha ng lubos na maaasahang mga aparato para sa malupit na mga kondisyon sa pagpapatakbo at mga espesyal na aplikasyon. Sa kasalukuyan, maaari kaming mag-supply ng maliit na batch na 200mmSiC na mga wafer nang tuluy-tuloy at tuluy-tuloy at may ilang stock sa bodega.

Pagtutukoy

Numero item Yunit Produksyon Pananaliksik Dummy
1. Mga Parameter
1.1 polytype -- 4H 4H 4H
1.2 oryentasyon sa ibabaw ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. Parameter ng elektrikal
2.1 dopant -- n-type na Nitrogen n-type na Nitrogen n-type na Nitrogen
2.2 resistivity ohm ·cm 0.015~0.025 0.01~0.03 NA
3. Parameter ng mekanikal
3.1 diameter mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 kapal μm 500±25 500±25 500±25
3.3 bingaw na oryentasyon ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Lalim ng bingaw mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 yumuko μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Warp μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. Estruktura
4.1 density ng micropipe ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 nilalamang metal atoms/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Positibong kalidad
5.1 harap -- Si Si Si
5.2 ibabaw na tapusin -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 butil ea/wafer ≤100(laki≥0.3μm) NA NA
5.4 scratch ea/wafer ≤5, Kabuuang Haba≤200mm NA NA
5.5 gilid
chips/indents/cracks/stains/contamination
-- wala wala NA
5.6 Mga lugar ng polytype -- wala Lugar ≤10% Lugar ≤30%
5.7 pagmamarka sa harap -- wala wala wala
6. kalidad ng likod
6.1 likod tapusin -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 scratch mm NA NA NA
6.3 Mga depekto sa likod na gilid
chips/indents
-- wala wala NA
6.4 Kagaspang sa likod nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Pagmarka sa likod -- bingaw bingaw bingaw
7. Gilid
7.1 gilid -- Chamfer Chamfer Chamfer
8. Pakete
8.1 packaging -- Epi-ready na may vacuum
packaging
Epi-ready na may vacuum
packaging
Epi-ready na may vacuum
packaging
8.2 packaging -- Multi-wafer
packaging ng cassette
Multi-wafer
packaging ng cassette
Multi-wafer
packaging ng cassette

Detalyadong Diagram

8 pulgada SiC03
8 pulgada SiC4
8 pulgada SiC5
8 pulgada SiC6

  • Nakaraan:
  • Susunod:

  • Isulat ang iyong mensahe dito at ipadala ito sa amin