3 pulgadang Mataas na Kadalisayan (Walang Doped) na Silicon Carbide Wafers na Semi-Insulating Sic Substrates (HPSl)
Mga Ari-arian
1. Mga Katangiang Pisikal at Istruktural
●Uri ng Materyal: Mataas na Kadalisayan (Walang Doped) Silicon Carbide (SiC)
●Diametro: 3 pulgada (76.2 mm)
●Kapal: 0.33-0.5 mm, maaaring ipasadya batay sa mga kinakailangan sa aplikasyon.
●Istrukturang Kristal: 4H-SiC polytype na may hexagonal lattice, na kilala sa mataas na electron mobility at thermal stability.
●Oryentasyon:
oPamantayan: [0001] (C-plane), angkop para sa malawak na hanay ng mga aplikasyon.
oOpsyonal: Off-axis (4° o 8° na ikiling) para sa pinahusay na epitaxial na paglaki ng mga layer ng device.
●Kapatagan: Kabuuang kapal (TTV) ●Kalidad ng Ibabaw:
oPinakintab sa oMababang densidad ng depekto (<10/cm² densidad ng micropipe). 2. Mga Katangiang Elektrikal ●Resistivity: >109^99 Ω·cm, pinapanatili sa pamamagitan ng pag-aalis ng mga intentional dopant.
●Lakas ng Dielectric: Mataas na tibay ng boltahe na may kaunting dielectric losses, mainam para sa mga aplikasyon na may mataas na lakas.
●Thermal Conductivity: 3.5-4.9 W/cm·K, na nagbibigay-daan sa epektibong pagpapakalat ng init sa mga high-performance na device.
3. Mga Katangiang Termal at Mekanikal
●Malapad na Bandgap: 3.26 eV, sumusuporta sa operasyon sa ilalim ng mataas na boltahe, mataas na temperatura, at mga kondisyon ng mataas na radiation.
●Tigas: Mohs scale 9, tinitiyak ang tibay laban sa mekanikal na pagkasira habang pinoproseso.
●Koepisyent ng Pagpapalawak ng Init: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, tinitiyak ang katatagan ng dimensyon sa ilalim ng mga pagkakaiba-iba ng temperatura.
| Parametro | Antas ng Produksyon | Antas ng Pananaliksik | Dummy Grade | Yunit |
| Baitang | Antas ng Produksyon | Antas ng Pananaliksik | Dummy Grade | |
| Diyametro | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
| Kapal | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Oryentasyon ng Wafer | Sa aksis: <0001> ± 0.5° | Sa aksis: <0001> ± 2.0° | Sa aksis: <0001> ± 2.0° | digri |
| Densidad ng Mikropipe (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
| Resistivity ng Elektrisidad | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
| Dopant | Hindi na-doped | Hindi na-doped | Hindi na-doped | |
| Pangunahing Patag na Oryentasyon | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | digri |
| Pangunahing Patag na Haba | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
| Pangalawang Patag na Haba | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| Pangalawang Patag na Oryentasyon | 90° CW mula sa pangunahing patag ± 5.0° | 90° CW mula sa pangunahing patag ± 5.0° | 90° CW mula sa pangunahing patag ± 5.0° | digri |
| Pagbubukod sa Gilid | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Pana/Pakulot | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
| Kagaspangan ng Ibabaw | Si-face: CMP, C-face: Pinakintab | Si-face: CMP, C-face: Pinakintab | Si-face: CMP, C-face: Pinakintab | |
| Mga Bitak (Mataas na Intensidad ng Liwanag) | Wala | Wala | Wala | |
| Mga Platong Heksagonal (Mataas na Intensidad na Liwanag) | Wala | Wala | Pinagsama-samang lawak 10% | % |
| Mga Lugar na Polytype (Mataas na Intensity na Liwanag) | Pinagsama-samang lawak 5% | Pinagsama-samang lawak 20% | Pinagsama-samang lawak 30% | % |
| Mga Gasgas (Mataas na Intensidad ng Liwanag) | ≤ 5 gasgas, pinagsama-samang haba ≤ 150 | ≤ 10 gasgas, pinagsama-samang haba ≤ 200 | ≤ 10 gasgas, pinagsama-samang haba ≤ 200 | mm |
| Pagputol ng Gilid | Wala ≥ 0.5 mm ang lapad/lalim | 2 pinapayagang lapad/lalim na ≤ 1 mm | 5 pinapayagan ≤ 5 mm lapad/lalim | mm |
| Kontaminasyon sa Ibabaw | Wala | Wala | Wala |
Mga Aplikasyon
1. Elektroniks ng Enerhiya
Ang malawak na bandgap at mataas na thermal conductivity ng mga HPSI SiC substrate ay ginagawa silang mainam para sa mga power device na gumagana sa matinding mga kondisyon, tulad ng:
●Mga Kagamitang Mataas ang Boltahe: Kabilang ang mga MOSFET, IGBT, at Schottky Barrier Diode (SBD) para sa mahusay na conversion ng kuryente.
●Mga Sistema ng Renewable Energy: Tulad ng mga solar inverter at wind turbine controller.
●Mga Sasakyang De-kuryente (EV): Ginagamit sa mga inverter, charger, at powertrain system upang mapabuti ang kahusayan at mabawasan ang laki.
2. Mga Aplikasyon ng RF at Microwave
Ang mataas na resistivity at mababang dielectric losses ng mga HPSI wafer ay mahalaga para sa mga radio-frequency (RF) at microwave system, kabilang ang:
●Imprastraktura ng Telekomunikasyon: Mga base station para sa mga 5G network at komunikasyon gamit ang satellite.
●Aerospace at Depensa: Mga sistema ng radar, phased-array antenna, at mga bahagi ng avionics.
3. Optoelektronika
Ang transparency at malawak na bandgap ng 4H-SiC ay nagbibigay-daan sa paggamit nito sa mga optoelectronic device, tulad ng:
●Mga UV Photodetector: Para sa pagsubaybay sa kapaligiran at mga medikal na diagnostic.
●Mga High-Power LED: Sinusuportahan ang mga solid-state lighting system.
●Mga Laser Diode: Para sa mga industriyal at medikal na aplikasyon.
4. Pananaliksik at Pagpapaunlad
Ang mga HPSI SiC substrate ay malawakang ginagamit sa mga akademiko at industriyal na laboratoryo ng R&D para sa paggalugad ng mga advanced na katangian ng materyal at paggawa ng aparato, kabilang ang:
●Paglago ng Epitaxial Layer: Mga pag-aaral sa pagbabawas ng depekto at pag-optimize ng layer.
●Mga Pag-aaral sa Mobilidad ng Carrier: Imbestigasyon ng transportasyon ng elektron at butas sa mga materyales na may mataas na kadalisayan.
●Prototyping: Paunang pag-unlad ng mga nobelang aparato at circuit.
Mga Kalamangan
Superior na Kalidad:
Ang mataas na kadalisayan at mababang densidad ng depekto ay nagbibigay ng maaasahang plataporma para sa mga advanced na aplikasyon.
Katatagan ng Termal:
Ang mahusay na mga katangian ng pagwawaldas ng init ay nagbibigay-daan sa mga aparato na gumana nang mahusay sa ilalim ng mataas na mga kondisyon ng kuryente at temperatura.
Malawak na Pagkakatugma:
Tinitiyak ng mga magagamit na oryentasyon at mga opsyon sa pasadyang kapal ang kakayahang umangkop para sa iba't ibang pangangailangan ng device.
Katatagan:
Ang pambihirang katigasan at katatagan ng istruktura ay nakakabawas sa pagkasira at deformasyon habang pinoproseso at ginagamit.
Kakayahang umangkop:
Angkop para sa iba't ibang industriya, mula sa renewable energy hanggang sa aerospace at telekomunikasyon.
Konklusyon
Ang 3-pulgadang High Purity Semi-Insulating Silicon Carbide wafer ay kumakatawan sa tugatog ng teknolohiya ng substrate para sa mga high-power, high-frequency, at optoelectronic device. Ang kombinasyon nito ng mahusay na thermal, electrical, at mechanical properties ay nagsisiguro ng maaasahang pagganap sa mga mapaghamong kapaligiran. Mula sa power electronics at RF systems hanggang sa optoelectronics at advanced R&D, ang mga HPSI substrate na ito ay nagbibigay ng pundasyon para sa mga inobasyon sa hinaharap.
Para sa karagdagang impormasyon o para mag-order, mangyaring makipag-ugnayan sa amin. Ang aming teknikal na pangkat ay handang magbigay ng gabay at mga opsyon sa pagpapasadya na angkop sa iyong mga pangangailangan.
Detalyadong Dayagram















