Mga High-Purity Fused Quartz Wafer para sa Semiconductor, Photonics Optical Applications 2″4″6″8″12″
Detalyadong Dayagram
Pangkalahatang-ideya ng Quartz Glass
Ang mga quartz wafer ang bumubuo sa gulugod ng hindi mabilang na mga modernong aparato na nagpapaandar sa digital na mundo ngayon. Mula sa nabigasyon sa iyong smartphone hanggang sa gulugod ng mga 5G base station, tahimik na naghahatid ang quartz ng katatagan, kadalisayan, at katumpakan na kinakailangan sa high-performance electronics at photonics. Sinusuportahan man nito ang flexible circuitry, pinapagana ang mga MEMS sensor, o bumubuo ng batayan para sa quantum computing, ang mga natatanging katangian ng quartz ay ginagawa itong lubhang kailangan sa lahat ng industriya.
Ang "Fused Silica" o "Fused Quartz" na siyang amorphous phase ng quartz (SiO2). Kung ikukumpara sa borosilicate glass, ang fused silica ay walang mga additives; kaya naman umiiral ito sa purong anyo nito, ang SiO2. Ang fused silica ay may mas mataas na transmission sa infrared at ultraviolet spectrum kumpara sa normal na salamin. Ang fused silica ay nalilikha sa pamamagitan ng pagtunaw at muling pagpapatigas ng ultrapure SiO2. Sa kabilang banda, ang synthetic fused silica ay gawa sa mga kemikal na precursor na mayaman sa silicon tulad ng SiCl4 na pinapagana at pagkatapos ay na-oxidize sa isang H2 + O2 na atmospera. Ang alikabok ng SiO2 na nabuo sa kasong ito ay pinagsasama sa silica sa isang substrate. Ang mga bloke ng fused silica ay pinuputol sa mga wafer at pagkatapos ay pinakintab ang mga wafer.
Mga Pangunahing Tampok at Benepisyo ng Quartz Glass Wafer
-
Ultra-Mataas na Kadalisayan (≥99.99% SiO2)
Mainam para sa mga ultra-clean semiconductor at photonics na proseso kung saan kailangang mabawasan ang kontaminasyon ng materyal. -
Malawak na Saklaw ng Operasyon ng Thermal
Pinapanatili ang integridad ng istruktura mula sa mga cryogenic na temperatura hanggang sa mahigit 1100°C nang walang pagbaluktot o pagkasira. -
Natatanging UV at IR Transmission
Naghahatid ng mahusay na kalinawan ng optika mula sa malalim na ultraviolet (DUV) hanggang sa malapit-infrared (NIR), na sumusuporta sa mga aplikasyon ng precision optical. -
Mababang Thermal Expansion Coefficient
Pinahuhusay ang katatagan ng dimensyon sa ilalim ng mga pagbabago-bago ng temperatura, binabawasan ang stress at pinapabuti ang pagiging maaasahan ng proseso. -
Superior na Paglaban sa Kemikal
Hindi tinatablan ng karamihan sa mga asido, alkali, at solvent—kaya angkop ito para sa mga kapaligirang agresibo sa kemikal. -
Kakayahang umangkop sa Pagtatapos ng Ibabaw
Makukuha na may ultra-smooth, single-side o double-side polished finishes, na tugma sa mga kinakailangan sa photonics at MEMS.
Proseso ng Paggawa ng Quartz Glass Wafer
Ang mga fused quartz wafer ay ginagawa sa pamamagitan ng isang serye ng kontrolado at tumpak na mga hakbang:
-
Pagpili ng Hilaw na Materyales
Pagpili ng mga mapagkukunan ng mataas na kadalisayan na natural na quartz o sintetikong SiO₂. -
Pagtunaw at Pagsasanib
Ang quartz ay tinutunaw sa temperaturang ~2000°C sa mga electric furnace sa ilalim ng isang kontroladong atmospera upang maalis ang mga inklusyon at bula. -
Pagbuo ng Bloke
Ang tinunaw na silica ay pinapalamig upang maging mga solidong bloke o ingot. -
Paghiwa ng Wafer
Ginagamit ang mga precision diamond o wire saw upang putulin ang mga ingot upang gawing mga wafer blank. -
Pag-lapping at Pagpapakintab
Parehong ibabaw ay pinatag at pinakintab upang matugunan ang eksaktong mga espesipikasyon ng optika, kapal, at pagkamagaspang. -
Paglilinis at Inspeksyon
Ang mga wafer ay nililinis sa mga malinis na silid na may ISO Class 100/1000 at sumasailalim sa mahigpit na inspeksyon para sa mga depekto at pagkakatugma ng mga sukat.
Mga Katangian ng Quartz Glass wafer
| detalye | yunit | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Diyametro / laki (o parisukat) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Pagpaparaya (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Kapal | mm | 0.10 o higit pa | 0.30 o higit pa | 0.40 o higit pa | 0.50 o higit pa | 0.50 o higit pa |
| Pangunahing sangguniang patag | mm | 32.5 | 57.5 | Semi-bingaw | Semi-bingaw | Semi-bingaw |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Pana | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Warp | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Pag-ikot ng Gilid | mm | Sumusunod sa Pamantayan ng SEMI M1.2 / sumangguni sa IEC62276 | ||||
| Uri ng Ibabaw | Pinakintab na Isang Gilid / Pinakintab na Dobleng Gilid | |||||
| Pinakintab na gilid na Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Mga Pamantayan sa Likod na Bahagi | μm | pangkalahatan 0.2-0.7 o na-customize | ||||
Quartz vs. Iba Pang Transparent na Materyales
| Ari-arian | Salamin na Kuwarts | Salamin na Borosilicate | Sapiro | Karaniwang Salamin |
|---|---|---|---|---|
| Pinakamataas na Temperatura ng Operasyon | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| Paghahatid ng UV | Napakahusay (JGS1) | Mahina | Mabuti | Napakahirap |
| Paglaban sa Kemikal | Napakahusay | Katamtaman | Napakahusay | Mahina |
| Kadalisayan | Napakataas | Mababa hanggang katamtaman | Mataas | Mababa |
| Pagpapalawak ng Init | Napakababa | Katamtaman | Mababa | Mataas |
| Gastos | Katamtaman hanggang mataas | Mababa | Mataas | Napakababa |
Mga Madalas Itanong tungkol sa Quartz Glass Wafer
T1: Ano ang pagkakaiba ng fused quartz at fused silica?
Bagama't pareho silang amorphous na anyo ng SiO₂, ang fused quartz ay karaniwang nagmumula sa natural na pinagmumulan ng quartz, samantalang ang fused silica ay sintetikong ginawa. Sa paggana, nag-aalok sila ng magkatulad na pagganap, ngunit ang fused silica ay maaaring may bahagyang mas mataas na kadalisayan at homogeneity.
T2: Maaari bang gamitin ang mga fused quartz wafer sa mga kapaligirang may mataas na vacuum?
Oo. Dahil sa kanilang mababang katangian sa paglabas ng gas at mataas na thermal resistance, ang mga fused quartz wafer ay mahusay para sa mga vacuum system at mga aplikasyon sa aerospace.
T3: Angkop ba ang mga wafer na ito para sa mga aplikasyon ng deep-UV laser?
Talagang-talaga. Ang fused quartz ay may mataas na transmittance hanggang ~185 nm, kaya mainam ito para sa mga DUV optics, lithography masks, at excimer laser systems.
T4: Sinusuportahan ba ninyo ang pasadyang paggawa ng wafer?
Oo. Nag-aalok kami ng kumpletong pagpapasadya kabilang ang diyametro, kapal, kalidad ng ibabaw, mga patag/binuka, at laser patterning, batay sa iyong partikular na mga kinakailangan sa aplikasyon.
Tungkol sa Amin
Ang XKH ay dalubhasa sa high-tech na pagpapaunlad, produksyon, at pagbebenta ng mga espesyal na optical glass at mga bagong crystal materials. Ang aming mga produkto ay nagsisilbi sa optical electronics, consumer electronics, at militar. Nag-aalok kami ng mga Sapphire optical components, mobile phone lens covers, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, at semiconductor crystal wafers. Taglay ang bihasang kadalubhasaan at makabagong kagamitan, mahusay kami sa non-standard na pagproseso ng produkto, na naglalayong maging isang nangungunang high-tech enterprise ng optoelectronic materials.











