4 inch SiC Wafers 6H Semi-Insulating SiC Substrates prime, research, at dummy grade

Maikling Paglalarawan:

Ang semi-insulated na silicon carbide substrate ay nabuo sa pamamagitan ng pagputol, paggiling, pag-polish, paglilinis at iba pang teknolohiya sa pagproseso pagkatapos ng paglaki ng semi-insulated na silicon carbide na kristal. Ang isang layer o multilayer na kristal na layer ay pinatubo sa substrate na nakakatugon sa mga kinakailangan sa kalidad bilang epitaxy, at pagkatapos ay ang microwave RF device ay ginawa sa pamamagitan ng pagsasama-sama ng disenyo ng circuit at packaging. Magagamit bilang 2inch 3inch 4incgh 6inch 8 inch pang-industriya, pananaliksik at test grade semi-insulated silicon carbide single crystal substrates.

Magpadala ng email sa amin

Mga tampok

Detalye ng Produkto

Grade			Zero MPD Production Grade (Z Grade)			Standard Production Grade(P Grade)		Dummy Grade (D Grade)
diameter			99.5 mm~100.0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Oryentasyon ng Wafer			Off axis : 4.0° patungo sa< 1120 > ±0.5° para sa 4H-N, On axis : <0001>±0.5° para sa 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Pangunahing Flat na Oryentasyon		{10-10} ±5.0°
Pangunahing Flat na Haba		32.5 mm±2.0 mm
Pangalawang Flat na Haba		18.0 mm±2.0 mm
Pangalawang Flat na Oryentasyon		Silicon face up: 90° CW. mula sa Prime flat ±5.0°
Pagbubukod ng Edge		3 mm
LTV/TTV/Bow /Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Kagaspangan			C mukha				Polish		Ra≤1 nm
			Yung mukha	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Mga Bitak sa Gilid Sa pamamagitan ng Mataas na Intensity Light		wala						Pinagsama-samang haba ≤ 10 mm, single haba≤2 mm
Hex Plate Sa pamamagitan ng High Intensity Light		Pinagsama-samang lugar ≤0.05%						Pinagsama-samang lugar ≤0.1%
Mga Polytype na Lugar Sa pamamagitan ng High Intensity Light		wala						Pinagsama-samang lugar≤3%
Visual Carbon Inclusions		Pinagsama-samang lugar ≤0.05%						Pinagsama-samang lugar ≤3%
Mga Gasgas sa Ibabaw ng Silicon Sa pamamagitan ng High Intensity Light		wala						Pinagsama-samang haba≤1＊wafer diameter
Edge Chips High By Intensity Light		Walang pinahihintulutan na ≥0.2 mm ang lapad at lalim						5 ang pinapayagan, ≤1 mm bawat isa
Silicon Surface Contamination Sa pamamagitan ng High Intensity		wala
Packaging		Multi-wafer Cassette O Single Wafer Container