Yugto ng Ultra-Precision SiC Air-Bearing

Itinatampok na Larawan ng Ultra-Precision SiC Air-Bearing Stage

Maikling Paglalarawan:

Kasabay ng patuloy na ebolusyon ng industriya ng semiconductor, ang mga kagamitan sa pagproseso at inspeksyon ay nangangailangan ng mas mataas na pagganap. Batay sa malawak na kadalubhasaan sa pagkontrol ng galaw at pagpoposisyon sa antas ng nanometer, nakabuo kami ng isang planar H-type dual-axis ultra-precision air-bearing stage.

Magpadala ng email sa amin

Mga Tampok

Detalyadong Dayagram

Pangkalahatang-ideya

Ginawa gamit ang isang finite-element-optimized silicon carbide (SiC) ceramic structure at compensated air-bearing technology, ang entablado ay naghahatid ng natatanging katumpakan, rigidity, at dynamic response. Ito ay mainam para sa:

Pagproseso at inspeksyon ng semiconductor
Paggawa at metrolohiya ng mikro/nano
Pagputol at pagpapakintab ng langaw na kasinglaki ng nanometro
Mataas na bilis ng pag-scan ng katumpakan

Mga Pangunahing Tampok

Gabay sa pagdadala ng hangin na may SiCpara sa napakataas na higpit at katumpakan
Mataas na dinamika: bilis hanggang 1 m/s, akselerasyon hanggang 4 g, mabilis na pag-upo
Dual-drive gantry Y-axistinitiyak ang mataas na kapasidad ng pagkarga at katatagan
Mga opsyon sa encoder: optikal na rehas o laser interferometer
Katumpakan ng pagpoposisyon: ±0.15 µm;kakayahang maulit: ±75 nm
Na-optimize na pagruruta ng kablepara sa malinis na disenyo at pangmatagalang pagiging maaasahan
Mga napapasadyang configurationpara sa mga pangangailangang partikular sa aplikasyon

Disenyo na Ultra-Precision at Arkitekturang Direct-Drive, Non-Contact

SiC Seramik na Balangkas: ~5× ang higpit ng aluminum alloy at ~5× mas mababang thermal expansion, na tinitiyak ang mataas na bilis na estabilidad at thermal robustness.
Compensated Air-Bearing: Pinahuhusay ng sariling disenyo ang tibay, kapasidad sa pagkarga, at katatagan ng galaw.
Dinamikong Pagganap: Sinusuportahan ang 1 m/s na bilis at 4 g na acceleration, mainam para sa mga prosesong may mataas na throughput.
Walang Tuluy-tuloy na PagsasamaTugma sa mga vibration isolation system, rotary stages, tilt modules, at wafer handling platform.
Pamamahala ng Kable: Ang kontroladong radius ng baluktot ay nakakabawas ng stress para sa mas mahabang buhay ng serbisyo.

Walang Core na Linear na Motor: Maayos na galaw na walang puwersa ng pag-ugoy.
Multi-Motor Drive: Ang pagkakalagay ng load-plane motor ay nagpapabuti sa tuwid, patag, at angular na katumpakan.
Paghihiwalay sa InitAng mga motor ay nakahiwalay mula sa istruktura ng entablado; opsyonal na pagpapalamig gamit ang hangin o tubig para sa mga high-duty cycle.

Mga detalye

Modelo	400-400	500-500	600-600
Mga Palakol	X (scan) / Y (hakbang)	X (scan) / Y (hakbang)	X (scan) / Y (hakbang)
Paglalakbay (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Katumpakan (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
Pag-uulit (nm)	±75	±100	±100
Resolusyon (nm)	0.3	0.3	0.3
Pinakamataas na Bilis (m/s)	1	1	1
Akselerasyon (g)	4	4	4
Katuwiran (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
Katatagan (nm)	±5	±5	±5
Pinakamataas na Karga (kg)	20	20	20
Pitch/Roll/Yaw (arc-sec)	±1	±1	±1

Mga Kondisyon ng Pagsubok:

Suplay ng hangin: malinis, tuyo; dew point ≤ 0°F; particle filtration ≤ 0.25 μm; o 99.99% nitrogen.
Ang katumpakan ay nasukat 25 mm sa itaas ng sentro ng entablado sa 20±1 °C, 40–60% RH.

Mga Aplikasyon

Litograpiya, inspeksyon, at paghawak ng wafer sa semiconductor
Paggawa ng mikro/nano at metrolohiya ng katumpakan
Paggawa at interferometry ng mga high-end na optika
Aerospace at advanced na pananaliksik sa agham

Mga Madalas Itanong – Yugto ng Pag-iingat ng Hangin na may Silicon Carbide

1. Ano ang isang yugtong may dalang hangin?

Ang isang entabladong may hangin ay gumagamit ng manipis na pelikula ng may presyon na hangin sa pagitan ng entablado at gabay upang magbigaywalang alitan, walang pagkasira, at napakakinis na paggalawHindi tulad ng mga kumbensyonal na mekanikal na bearing, inaalis nito ang pagkadulas, naghahatid ng katumpakan na kasing-level ng nanometer, at sumusuporta sa pangmatagalang pagiging maaasahan.

2. Bakit gagamit ng silicon carbide (SiC) para sa istruktura ng entablado?

Mataas na higpit: ~5× kaysa sa haluang metal na aluminyo, na nagpapaliit sa deformasyon habang may pabago-bagong galaw.
Mababang thermal expansion: ~5× na mas mababa kaysa sa aluminyo, pinapanatili ang katumpakan sa ilalim ng mga pagkakaiba-iba ng temperatura.
Magaan: Mas mababang densidad kumpara sa bakal, na nagbibigay-daan sa operasyon na may mataas na bilis at mataas na acceleration.
Napakahusay na katatagan: Superior na damping at rigidity para sa ultra-precision na pagpoposisyon.

3. Kailangan ba ng pagpapadulas o pagpapanatili ang entablado?

Hindi kailangan ng tradisyonal na pagpapadulas dahil mayroonwalang mekanikal na kontakKasama sa inirerekomendang pagpapanatili ang:

Pagsusuplaymalinis, tuyong naka-compress na hangin o nitroheno
Pana-panahong inspeksyon ng mga filter at dryer
Pagsubaybay sa mga kable at mga sistema ng pagpapalamig

4. Ano ang mga kinakailangan sa suplay ng hangin?

Tuktok ng hamog: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Pagsala ng partikulo: ≤ 0.25 μm
Malinis, tuyong hangin o 99.99% purong nitroheno
Matatag na presyon na may kaunting pagbabago-bago

Tungkol sa Amin

Ang XKH ay dalubhasa sa high-tech na pagpapaunlad, produksyon, at pagbebenta ng mga espesyal na optical glass at mga bagong crystal materials. Ang aming mga produkto ay nagsisilbi sa optical electronics, consumer electronics, at militar. Nag-aalok kami ng mga Sapphire optical components, mobile phone lens covers, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, at semiconductor crystal wafers. Taglay ang bihasang kadalubhasaan at makabagong kagamitan, mahusay kami sa non-standard na pagproseso ng produkto, na naglalayong maging isang nangungunang high-tech enterprise ng optoelectronic materials.