TGV Glass substrates 12inch wafer Pagsuntok ng salamin
Ang mga substrate ng salamin ay gumaganap nang mas mahusay sa mga tuntunin ng mga katangian ng thermal, pisikal na katatagan, at mas lumalaban sa init at mas madaling kapitan ng mga problema sa warping o deformation dahil sa mataas na temperatura;
Bilang karagdagan, ang mga natatanging katangian ng elektrikal ng glass core ay nagbibigay-daan para sa mas mababang pagkalugi ng dielectric, na nagpapahintulot sa mas malinaw na signal at paghahatid ng kuryente. Bilang resulta, ang pagkawala ng kuryente sa panahon ng paghahatid ng signal ay nababawasan at ang pangkalahatang kahusayan ng chip ay natural na napalakas. Ang kapal ng glass core substrate ay maaaring mabawasan ng halos kalahati kumpara sa ABF plastic, at ang pagnipis ay nagpapabuti sa bilis ng paghahatid ng signal at kahusayan ng kuryente.
Teknolohiya sa pagbuo ng butas ng TGV:
Ang pamamaraan ng pag-ukit ng laser sapilitan ay ginagamit upang himukin ang tuluy-tuloy na denaturation zone sa pamamagitan ng pulsed laser, at pagkatapos ay inilalagay ang laser treated glass sa hydrofluoric acid solution para sa pag-ukit. Ang etching rate ng denaturation zone glass sa hydrofluoric acid ay mas mabilis kaysa sa undenaturated glass na mabuo sa pamamagitan ng mga butas.
TGV fill:
Una, ang TGV blind hole ay ginawa. Pangalawa, ang seed layer ay idineposito sa loob ng TGV blind hole sa pamamagitan ng physical vapor deposition (PVD). Pangatlo, ang bottom-up electroplating ay nakakamit ng tuluy-tuloy na pagpuno ng TGV; Sa wakas, sa pamamagitan ng pansamantalang pagbubuklod, paggiling sa likod, pagkakalantad sa tanso ng kemikal na mekanikal na buli (CMP), pag-unbonding, na bumubuo ng TGV metal-filled transfer plate.