Silicon Carbide (SiC) Wafer Boat

Maikling Paglalarawan:

Ang Silicon Carbide (SiC) wafer boat ay isang semiconductor process carrier na gawa sa high-purity SiC material, na idinisenyo upang hawakan at ihatid ang mga wafer sa panahon ng mga kritikal na prosesong may mataas na temperatura tulad ng epitaxy, oxidation, diffusion, at annealing.

Magpadala ng email sa amin

Mga Tampok

Detalyadong Dayagram

Pangkalahatang-ideya ng Quartz Glass

Dahil sa mabilis na pag-unlad ng mga power semiconductor at mga wide bandgap device, ang mga kumbensyonal na quartz boat ay nahaharap sa mga limitasyon tulad ng deformation sa mataas na temperatura, matinding kontaminasyon ng particle, at maikling buhay ng serbisyo. Ang mga SiC wafer boat, na nagtatampok ng superior thermal stability, mababang kontaminasyon, at mas mahabang buhay, ay lalong pumapalit sa mga quartz boat at nagiging mas pinipili sa paggawa ng SiC device.

Mga Pangunahing Tampok

1. Mga Kalamangan sa Materyal

Ginawa mula sa mataas na kadalisayan na SiC na maymataas na katigasan at lakas.
Ang punto ng pagkatunaw ay higit sa 2700°C, mas mataas kaysa sa quartz, na tinitiyak ang pangmatagalang katatagan sa matinding kapaligiran.

2. Mga Katangiang Termal

Mataas na thermal conductivity para sa mabilis at pare-parehong paglipat ng init, na nagpapaliit sa stress ng wafer.
Ang coefficient of thermal expansion (CTE) ay halos tumutugma sa mga SiC substrate, na binabawasan ang pagbaluktot at pagbibitak ng wafer.

3. Katatagan ng Kemikal

Matatag sa ilalim ng mataas na temperatura at iba't ibang atmospera (H₂, N₂, Ar, NH₃, atbp.).
Napakahusay na resistensya sa oksihenasyon, na pumipigil sa agnas at pagbuo ng particle.

4. Pagganap ng Proseso

Ang makinis at siksik na ibabaw ay nakakabawas sa pagkalat ng mga particle at kontaminasyon.
Pinapanatili ang katatagan ng dimensyon at kapasidad ng pagkarga pagkatapos ng pangmatagalang paggamit.

5. Kahusayan sa Gastos

3–5 beses na mas mahabang buhay ng serbisyo kaysa sa mga bangkang quartz.
Mas mababang dalas ng pagpapanatili, na binabawasan ang downtime at mga gastos sa pagpapalit.

Mga Aplikasyon

SiC Epitaxy: Sinusuportahan ang 4-pulgada, 6-pulgada, at 8-pulgadang SiC substrates sa panahon ng mataas na temperaturang epitaxial growth.
Paggawa ng Kagamitang Pang-kuryenteMainam para sa mga SiC MOSFET, Schottky Barrier Diode (SBD), IGBT, at iba pang mga device.
Paggamot sa Init: Mga proseso ng annealing, nitridation, at carbonization.
Oksidasyon at PagsasabogMatatag na platapormang sumusuporta sa wafer para sa oksihenasyon at pagsasabog sa mataas na temperatura.

Mga Teknikal na Espesipikasyon

Aytem	Espesipikasyon
Materyal	Mataas na kadalisayan na Silicon Carbide (SiC)
Sukat ng Wafer	4-pulgada / 6-pulgada / 8-pulgada (napapasadyang sukat)
Pinakamataas na Temperatura ng Pagpapatakbo	≤ 1800°C
Pagpapalawak ng Thermal CTE	4.2 × 10⁻⁶ /K (malapit sa substrate ng SiC)
Konduktibidad ng Termal	120–200 W/m·K
Kagaspangan ng Ibabaw	Ra < 0.2 μm
Paralelismo	±0.1 mm
Buhay ng Serbisyo	≥ 3× na mas mahaba kaysa sa mga bangkang quartz

Paghahambing: Quartz Boat vs. SiC Boat

Dimensyon	Bangka ng Quartz	SiC Boat
Paglaban sa Temperatura	≤ 1200°C, deformasyon sa mataas na temperatura.	≤ 1800°C, matatag sa temperatura
Pagtutugma ng CTE sa SiC	Malaking hindi pagtutugma, panganib ng stress ng wafer	Malapit na tugma, binabawasan ang pagbibitak ng wafer
Kontaminasyon ng Partikel	Mataas, lumilikha ng mga dumi	Mababa, makinis at siksik na ibabaw
Buhay ng Serbisyo	Maikli, madalas na kapalit	Mahaba, 3–5× na mas mahabang habang-buhay
Angkop na Proseso	Konbensyonal na Si epitaxy	Na-optimize para sa SiC epitaxy at mga power device

Mga Madalas Itanong (FAQ) – Mga Bangka na Wafer na gawa sa Silicon Carbide (SiC)

1. Ano ang isang SiC wafer boat?

Ang SiC wafer boat ay isang semiconductor process carrier na gawa sa high-purity silicon carbide. Ginagamit ito upang hawakan at dalhin ang mga wafer sa mga prosesong may mataas na temperatura tulad ng epitaxy, oxidation, diffusion, at annealing. Kung ikukumpara sa mga tradisyonal na quartz boat, ang SiC wafer boat ay nag-aalok ng superior thermal stability, mas mababang kontaminasyon, at mas mahabang buhay ng serbisyo.

2. Bakit pipiliin ang mga SiC wafer boat kaysa sa mga quartz boat?

Mas mataas na resistensya sa temperaturaMatatag hanggang 1800°C kumpara sa quartz (≤1200°C).
Mas mahusay na pagtutugma ng CTEMalapit sa mga SiC substrate, na nagpapaliit sa stress at pagbibitak ng wafer.
Mas mababang pagbuo ng partikulo: Ang makinis at siksik na ibabaw ay nakakabawas ng kontaminasyon.
Mas mahabang buhay: 3–5 beses na mas mahaba kaysa sa mga bangkang quartz, na nagpapababa ng gastos sa pagmamay-ari.

3. Anong mga laki ng wafer ang kayang suportahan ng mga SiC wafer boat?

Nagbibigay kami ng mga karaniwang disenyo para sa4-pulgada, 6-pulgada, at 8-pulgadamga wafer, na may kumpletong pagpapasadya na magagamit upang matugunan ang mga pangangailangan ng customer.

4. Sa aling mga proseso karaniwang ginagamit ang mga SiC wafer boat?

Paglago ng epitaxial ng SiC
Paggawa ng mga power semiconductor device (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Pag-init, nitridation, at carbonization sa mataas na temperatura
Mga proseso ng oksihenasyon at pagsasabog

Tungkol sa Amin

Ang XKH ay dalubhasa sa high-tech na pagpapaunlad, produksyon, at pagbebenta ng mga espesyal na optical glass at mga bagong crystal materials. Ang aming mga produkto ay nagsisilbi sa optical electronics, consumer electronics, at militar. Nag-aalok kami ng mga Sapphire optical components, mobile phone lens covers, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, at semiconductor crystal wafers. Taglay ang bihasang kadalubhasaan at makabagong kagamitan, mahusay kami sa non-standard na pagproseso ng produkto, na naglalayong maging isang nangungunang high-tech enterprise ng optoelectronic materials.