Silicon carbide ceramic tray sucker Silicon carbide ceramic tube supply high temperature sintering custom processing

Sucker ng silicon carbide ceramic tray na may silicon carbide ceramic tube, nagsusuplay ng high temperature sintering custom processing, Itinatampok na Larawan

Maikling Paglalarawan:

Ang mga silicon carbide ceramic tray at silicon carbide ceramic tube ay kailangang-kailangan na mga materyales na may mataas na pagganap sa paggawa ng semiconductor. Ang silicon carbide ceramic tray ay pangunahing ginagamit sa pagproseso ng wafer na nakapirmi at may bearing, upang matiyak ang katatagan ng prosesong may mataas na katumpakan; ang mga silicon carbide ceramic tube ay malawakang ginagamit sa mga high temperature furnace tube, diffusion furnace tube at iba pang mga sitwasyon upang mapaglabanan ang matinding kapaligiran at mapanatili ang mahusay na thermal management. Parehong nakabatay sa silicon carbide bilang pangunahing materyal, na naging mahalagang bahagi sa industriya ng semiconductor dahil sa mahusay nitong pisikal at kemikal na mga katangian.

Magpadala ng email sa amin

Mga Tampok

Pangunahing mga tampok:

1. Tray na seramiko na gawa sa silikon karbida
- Mataas na katigasan at resistensya sa pagkasira: ang katigasan ay malapit sa diyamante, at kayang tiisin ang mekanikal na pagkasira sa pagproseso ng wafer sa loob ng mahabang panahon.
- Mataas na thermal conductivity at mababang thermal expansion coefficient: mabilis na pagwawaldas ng init at dimensional stability, na nakakaiwas sa deformation na dulot ng thermal stress.
- Mataas na patag at matibay na pagkakagawa: Ang patag na pagkakagawa ng ibabaw ay hanggang sa antas ng micron, na tinitiyak ang ganap na pagkakadikit sa pagitan ng wafer at ng disk, na binabawasan ang kontaminasyon at pinsala.
Estabilidad ng kemikal: Malakas na resistensya sa kalawang, angkop para sa mga proseso ng paglilinis gamit ang basang tubig at pag-ukit sa paggawa ng semiconductor.
2. Tubong seramikong silikon karbida
- Mataas na resistensya sa temperatura: Maaari itong gumana sa kapaligirang may mataas na temperatura na higit sa 1600°C sa loob ng mahabang panahon, na angkop para sa prosesong may mataas na temperatura ng semiconductor.
Napakahusay na resistensya sa kalawang: lumalaban sa mga asido, alkali at iba't ibang kemikal na solvent, angkop para sa malupit na kapaligiran ng proseso.
- Mataas na katigasan at resistensya sa pagkasira: lumalaban sa pagguho ng particle at mekanikal na pagkasira, nagpapahaba ng buhay ng serbisyo.
- Mataas na thermal conductivity at mababang coefficient ng thermal expansion: mabilis na pagpapadaloy ng init at dimensional stability, binabawasan ang deformation o pagbibitak na dulot ng thermal stress.

Parameter ng Produkto：

Parameter ng tray na seramiko ng silikon karbida:

(Materyal na ari-arian)		(Yunit)	(ssic)
(Nilalaman ng SiC)		(Bata)%	>99
(Karaniwang laki ng butil)		mikron	4-10
(Densidad)		kg/dm3	>3.14
(Maliwanag na porosidad)		Vo1%	<0.5
(Tigas ni Vickers)	HV 0.5	GPa	28
() Lakas ng pagbaluktot (tatlong puntos)	20ºC	MPa	450
(Lakas ng kompresyon)	20ºC	MPa	3900
(Modulus ng Elastiko)	20ºC	GPa	420
(Katatagan ng bali)		MPa/m'%	3.5
(Kondaktibiti ng init)	20°ºC	W/(m*K)	160
(Resistivity)	20°ºC	Ohm.cm	106-108
(Koepisyent ng pagpapalawak ng init)	isang(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Pinakamataas na temperatura ng pagpapatakbo)		oºC	1700

Parameter ng tubo ng seramikong silikon karbida:

Mga Aytem	Indeks
α-SIC	99% minuto
Tila Porosidad	16% pinakamataas
Densidad ng Bulk	2.7g/cm3 min
Lakas ng Pagbaluktot sa Mataas na Temperatura	100 Mpa min
Koepisyent ng Thermal Expansion	K-1 4.7x10 -6
Koepisyent ng Thermal Conductivity (1400ºC)	24 W/mk
Pinakamataas na Temperatura ng Paggawa	1650ºC

Pangunahing mga aplikasyon:

1. Platong seramikong silikon karbida
- Pagputol at pagpapakintab ng wafer: nagsisilbing plataporma ng tindig upang matiyak ang mataas na katumpakan at katatagan habang nagpuputol at nagpapakintab.
- Proseso ng Litograpiya: Ang wafer ay ikinakabit sa makinang litograpiya upang matiyak ang mataas na katumpakan ng pagpoposisyon habang inilalantad.
- Kemikal at Mekanikal na Pagpapakintab (CMP): gumaganap bilang platapormang pansuporta para sa mga pad na pampakintab, na nagbibigay ng pantay na presyon at pamamahagi ng init.
2. Tubong seramikong silikon karbida
- Tubo ng pugon na may mataas na temperatura: ginagamit para sa mga kagamitang may mataas na temperatura tulad ng diffusion furnace at oxidation furnace upang magdala ng mga wafer para sa pagproseso ng mataas na temperatura.
- Prosesong CVD/PVD: Bilang isang bearing tube sa reaction chamber, lumalaban sa mataas na temperatura at mga kinakaing unti-unting gas.
- Mga aksesorya ng kagamitang semiconductor: para sa mga heat exchanger, mga pipeline ng gas, atbp., upang mapabuti ang kahusayan sa pamamahala ng init ng kagamitan.
Nag-aalok ang XKH ng kumpletong hanay ng mga pasadyang serbisyo para sa mga silicon carbide ceramic tray, suction cup, at silicon carbide ceramic tube. Ang mga silicon carbide ceramic tray at suction cup, ang XKH ay maaaring ipasadya ayon sa mga kinakailangan ng customer na may iba't ibang laki, hugis, at pagkamagaspang sa ibabaw, at sumusuporta sa espesyal na paggamot ng patong, pinahuhusay ang resistensya sa pagkasira at kalawang; Para sa mga silicon carbide ceramic tube, maaaring ipasadya ng XKH ang iba't ibang panloob na diyametro, panlabas na diyametro, haba, at kumplikadong istraktura (tulad ng hugis na tubo o porous na tubo), at nagbibigay ng buli, anti-oxidation coating, at iba pang mga proseso ng paggamot sa ibabaw. Tinitiyak ng XKH na lubos na mapapakinabangan ng mga customer ang mga benepisyo ng pagganap ng mga produktong silicon carbide ceramic upang matugunan ang mga hinihingi ng mga high-end na larangan ng pagmamanupaktura tulad ng mga semiconductor, LED, at photovoltaic.