Pasadyang kagamitan sa bangkang kristal na quartz para sa mataas na temperatura at resistensya sa pagkasira
Ang mga bangkang may quartz crystal ay dinisenyo upang humawak at maghatid ng mga silicon wafer sa mga kapaligirang may mataas na temperatura, tulad ng sa mga hurno na ginagamit para sa mga prosesong tulad ng oksihenasyon, diffusion, at annealing. Tinitiyak ng paggamit ng quartz na kayang tiisin ng sasakyang-dagat ang matinding temperatura at malupit na kemikal na kapaligiran na nakatagpo sa mga prosesong ito ng paggawa ng semiconductor.
Ang disenyo ng quartz boat ay nagbibigay-daan para sa mahusay na pagkarga at pagbaba ng maraming wafer, na nagbibigay-daan sa mataas na throughput na produksyon sa mga pasilidad ng paggawa ng semiconductor. Ang paggamit ng quartz boat ay nakakatulong na matiyak ang integridad at kalidad ng mga silicon wafer sa panahon ng iba't ibang thermal at kemikal na paggamot, na tumutulong upang mapabuti ang pangkalahatang katumpakan at pagiging maaasahan ng mga semiconductor device na ginawa.
Ang quartz wafer boat ay isang espesyalisadong kagamitang ginagamit sa industriya ng semiconductor upang pangasiwaan ang mga silicon wafer. Karaniwan itong gawa sa high-purity quartz, na pinipili dahil sa mahusay nitong thermal at chemical properties.
Ang wafer boat ay dinisenyo upang magdala at magproseso ng mga silicon wafer sa mga kapaligirang may mataas na temperatura, tulad ng sa mga pugon na ginagamit para sa mga prosesong tulad ng oksihenasyon, diffusion, at annealing. Tinitiyak ng paggamit ng quartz na kayang tiisin ng mga bangka ang matinding temperatura at malupit na kemikal na kapaligiran na nakatagpo sa mga prosesong ito ng paggawa ng semiconductor.
Ang disenyo ng mga bangka ay nagbibigay-daan para sa mahusay na pagkarga at pagbaba ng maraming wafer, na nagreresulta sa mataas na throughput na produksyon sa mga pasilidad ng paggawa ng semiconductor. Ang paggamit ng mga quartz wafer ay nakakatulong na matiyak ang integridad at kalidad ng mga silicon wafer sa panahon ng iba't ibang thermal at kemikal na paggamot, sa gayon ay pinapataas ang katumpakan at pagiging maaasahan ng mga semiconductor device na ginawa.
Detalyadong Dayagram



