p-type 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC substrate 4inch 〈111〉± 0.5°Zero MPD
4H/6H-P Type SiC Composite Substrates Karaniwang talahanayan ng parameter
4 pulgada diameter SiliconCarbide (SiC) Substrate Pagtutukoy
Grade | Zero MPD Production Marka (Z grado) | Pamantayang Produksyon Marka (P grado) | Dummy Grade (D grado) | ||
diameter | 99.5 mm~100.0 mm | ||||
kapal | 350 μm ± 25 μm | ||||
Oryentasyon ng Wafer | Off axis: 2.0°-4.0°patungo sa [1120] ± 0.5° para sa 4H/6H-P, On axis:〈111〉± 0.5° para sa 3C-N | ||||
Densidad ng Micropipe | 0 cm-2 | ||||
Resistivity | p-type 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
n-type 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Pangunahing Flat na Oryentasyon | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
3C-N | - {110} ± 5.0° | ||||
Pangunahing Flat na Haba | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Pangalawang Flat na Haba | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Pangalawang Flat na Oryentasyon | Silicon face up: 90° CW. mula sa Prime flat±5.0° | ||||
Pagbubukod ng Edge | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow /Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Kagaspangan | Polish Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Mga Bitak sa Gilid Sa pamamagitan ng Mataas na Intensity Light | wala | Pinagsama-samang haba ≤ 10 mm, solong haba≤2 mm | |||
Hex Plate Sa pamamagitan ng High Intensity Light | Pinagsama-samang lugar ≤0.05% | Pinagsama-samang lugar ≤0.1% | |||
Mga Polytype na Lugar Sa pamamagitan ng High Intensity Light | wala | Pinagsama-samang lugar≤3% | |||
Visual Carbon Inclusions | Pinagsama-samang lugar ≤0.05% | Pinagsama-samang lugar ≤3% | |||
Mga Gasgas sa Ibabaw ng Silicon Sa pamamagitan ng High Intensity Light | wala | Pinagsama-samang haba≤1×wafer diameter | |||
Edge Chips High By Intensity Light | Walang pinahihintulutan na ≥0.2mm ang lapad at lalim | 5 ang pinapayagan, ≤1 mm bawat isa | |||
Silicon Surface Contamination Sa pamamagitan ng High Intensity | wala | ||||
Packaging | Multi-wafer Cassette o Single Wafer Container |
Mga Tala:
※Nalalapat ang mga limitasyon sa mga depekto sa buong ibabaw ng wafer maliban sa lugar na hindi kasama sa gilid. # Ang mga gasgas ay dapat suriin lamang sa mukha ng Si.
Ang P-type 4H/6H-P 3C-N type 4-inch SiC substrate na may 〈111〉± 0.5° na oryentasyon at Zero MPD grade ay malawakang ginagamit sa mataas na pagganap na mga electronic application. Ang mahusay na thermal conductivity nito at mataas na breakdown voltage ay ginagawa itong perpekto para sa mga power electronics, tulad ng mga high-voltage switch, inverters, at power converter, na gumagana sa matinding mga kondisyon. Bukod pa rito, ang paglaban ng substrate sa mataas na temperatura at kaagnasan ay nagsisiguro ng matatag na pagganap sa malupit na kapaligiran. Ang tumpak na 〈111〉± 0.5° na oryentasyon ay nagpapahusay sa katumpakan ng pagmamanupaktura, na ginagawa itong angkop para sa mga RF device at mga high-frequency na application, tulad ng mga radar system at wireless na kagamitan sa komunikasyon.
Ang mga bentahe ng N-type na SiC composite substrates ay kinabibilangan ng:
1. Mataas na Thermal Conductivity: Mahusay na pagwawaldas ng init, ginagawa itong angkop para sa mga kapaligirang may mataas na temperatura at mga application na may mataas na kapangyarihan.
2. Mataas na Breakdown Voltage: Tinitiyak ang maaasahang pagganap sa mga high-voltage na application tulad ng mga power converter at inverters.
3. Zero MPD (Micro Pipe Defect) Grade: Tinitiyak ang kaunting mga depekto, nagbibigay ng katatagan at mataas na pagiging maaasahan sa mga kritikal na elektronikong aparato.
4. Corrosion Resistance: Matibay sa malupit na kapaligiran, na tinitiyak ang pangmatagalang pag-andar sa mahirap na mga kondisyon.
5. Tumpak na 〈111〉± 0.5° Oryentasyon: Nagbibigay-daan para sa tumpak na pagkakahanay sa panahon ng pagmamanupaktura, pagpapabuti ng pagganap ng device sa mga high-frequency at RF application.
Sa pangkalahatan, ang P-type 4H/6H-P 3C-N type 4-inch SiC substrate na may 〈111〉± 0.5° na oryentasyon at Zero MPD grade ay isang high-performance na materyal na perpekto para sa mga advanced na electronic application. Ang mahusay na thermal conductivity at mataas na breakdown voltage nito ay ginagawa itong perpekto para sa mga power electronics tulad ng high-voltage switch, inverters, at converter. Tinitiyak ng Zero MPD grade ang kaunting mga depekto, na nagbibigay ng pagiging maaasahan at katatagan sa mga kritikal na device. Bukod pa rito, ang paglaban ng substrate sa kaagnasan at mataas na temperatura ay nagsisiguro ng tibay sa malupit na kapaligiran. Ang tumpak na 〈111〉± 0.5° na oryentasyon ay nagbibigay-daan para sa tumpak na pagkakahanay sa panahon ng pagmamanupaktura, na ginagawa itong lubos na angkop para sa mga RF device at mga high-frequency na aplikasyon.