Sa patuloy na pag-unlad ng teknolohiyang semiconductor, sa industriya ng semiconductor at maging sa industriya ng photovoltaic, napakahigpit din ng mga kinakailangan para sa kalidad ng ibabaw ng wafer substrate o epitaxial sheet.Kaya, ano ang mga kinakailangan sa kalidad para sa mga wafer?Ang pagkuha ng mga sapphire wafer bilang isang halimbawa, anong mga indicator ang maaaring gamitin upang suriin ang kalidad ng ibabaw ng mga wafer?
Ano ang mga tagapagpahiwatig ng pagsusuri ng mga wafer?
Ang Tatlong tagapagpahiwatig
Para sa mga sapphire wafer, ang mga evaluation indicator nito ay ang kabuuang kapal ng paglihis (TTV), liko (Bow) at Warp (Warp).Ang tatlong parameter na ito ay magkasamang sumasalamin sa flatness at kapal ng pagkakapareho ng silicon wafer, at maaaring masukat ang antas ng ripple ng wafer.Ang corrugation ay maaaring isama sa flatness upang suriin ang kalidad ng ibabaw ng wafer.
Ano ang TTV, BOW, Warp?
TTV (Kabuuang Pagkakaiba-iba ng Kapal)
Ang TTV ay ang pagkakaiba sa pagitan ng maximum at minimum na kapal ng isang wafer.Ang parameter na ito ay isang mahalagang index na ginagamit upang sukatin ang pagkakapareho ng kapal ng wafer.Sa isang proseso ng semiconductor, ang kapal ng wafer ay dapat na magkapareho sa buong ibabaw.Karaniwang ginagawa ang mga sukat sa limang lokasyon sa wafer at kinakalkula ang pagkakaiba.Sa huli, ang halagang ito ay isang mahalagang batayan para sa paghusga sa kalidad ng ostiya.
yumuko
Ang bow sa paggawa ng semiconductor ay tumutukoy sa liko ng isang wafer, na nagpapalaya sa distansya sa pagitan ng midpoint ng isang unclamp na wafer at ng reference na eroplano.Ang salita ay malamang na nagmula sa isang paglalarawan ng hugis ng isang bagay kapag ito ay nakatungo, tulad ng hubog na hugis ng isang busog.Ang halaga ng Bow ay tinutukoy sa pamamagitan ng pagsukat ng deviation sa pagitan ng gitna at gilid ng silicon wafer.Ang halagang ito ay karaniwang ipinapahayag sa micrometers (µm).
Warp
Ang Warp ay isang pandaigdigang pag-aari ng mga wafer na sumusukat sa pagkakaiba sa pagitan ng maximum at minimum na distansya sa pagitan ng gitna ng isang malayang naka-unclamp na wafer at ng reference na eroplano.Kinakatawan ang distansya mula sa ibabaw ng silicon wafer hanggang sa eroplano.
Ano ang pagkakaiba ng TTV, Bow, Warp?
Nakatuon ang TTV sa mga pagbabago sa kapal at hindi nababahala sa baluktot o pagbaluktot ng wafer.
Nakatuon ang Bow sa pangkalahatang liko, higit sa lahat ay isinasaalang-alang ang liko ng gitnang punto at ang gilid.
Ang Warp ay mas komprehensibo, kabilang ang baluktot at pag-twist ng buong ibabaw ng wafer.
Bagama't ang tatlong parameter na ito ay nauugnay sa hugis at geometric na katangian ng silicon wafer, ang mga ito ay sinusukat at inilarawan nang iba, at ang kanilang epekto sa proseso ng semiconductor at pagpoproseso ng wafer ay iba rin.
Kung mas maliit ang tatlong parameter, mas mabuti, at mas malaki ang parameter, mas malaki ang negatibong epekto sa proseso ng semiconductor.Samakatuwid, bilang isang semiconductor practitioner, dapat nating mapagtanto ang kahalagahan ng mga parameter ng profile ng wafer para sa buong proseso ng proseso, gawin ang proseso ng semiconductor, dapat magbayad ng pansin sa mga detalye.
（censoring）
Oras ng post: Hun-24-2024