Ion Beam Polishing Machine para sa sapphire SiC Si

Maikling Paglalarawan:

Ang Ion Beam Figuring at Polishing Machine ay batay sa prinsipyo ngion sputtering. Sa loob ng isang high-vacuum chamber, isang ion source ang bumubuo ng plasma, na pinabilis sa isang high-energy ion beam. Ang sinag na ito ay nagbobomba sa ibabaw ng optical component, nag-aalis ng materyal sa atomic scale upang makamit ang ultra-tumpak na pagwawasto sa ibabaw at pagtatapos.

Magpadala ng email sa amin

Mga tampok

Detalyadong Diagram

Pangkalahatang-ideya ng Produkto ng Ion Beam Polishing Machine

Ang Ion Beam Figuring at Polishing Machine ay batay sa prinsipyo ng ion sputtering. Sa loob ng isang high-vacuum chamber, isang ion source ang bumubuo ng plasma, na pinabilis sa isang high-energy ion beam. Ang sinag na ito ay nagbobomba sa ibabaw ng optical component, nag-aalis ng materyal sa atomic scale upang makamit ang ultra-tumpak na pagwawasto sa ibabaw at pagtatapos.

Bilang isang prosesong hindi nakikipag-ugnayan, inaalis ng ion beam polishing ang mekanikal na stress at iniiwasan ang pinsala sa ilalim ng ibabaw, na ginagawa itong perpekto para sa paggawa ng mga high-precision na optika na ginagamit sa astronomy, aerospace, semiconductor, at mga advanced na aplikasyon sa pananaliksik.

Prinsipyo ng Paggawa ng Ion Beam Polishing Machine

Pagbuo ng Ion
Ang inert gas (hal., argon) ay ipinapasok sa vacuum chamber at na-ionize sa pamamagitan ng electrical discharge upang bumuo ng plasma.

Pagpapabilis at Pagbubuo ng Beam
Ang mga ion ay pinabilis sa ilang daan o libong electron volts (eV) at hinuhubog sa isang matatag, nakatutok na beam spot.

Pag-alis ng Materyal
Ang ion beam ay pisikal na nag-sputter ng mga atom mula sa ibabaw nang hindi nagpapasimula ng mga kemikal na reaksyon.

Error Detection at Path Planning
Sinusukat ang mga deviation ng surface figure gamit ang interferometry. Inilapat ang mga function ng pag-alis upang matukoy ang mga oras ng tirahan at bumuo ng mga na-optimize na landas ng tool.

Closed-Loop Correction
Ang mga umuulit na cycle ng pagproseso at pagsukat ay nagpapatuloy hanggang sa maabot ang mga target na katumpakan ng RMS/PV.

Mga Pangunahing Tampok ng Ion Beam Polishing Machine

Universal Surface Compatibility– Pinoproseso ang flat, spherical, aspherical, at freeform surface

Ultra-Stable na Rate ng Pag-alis– Pinapagana ang sub-nanometer figure correction

Walang Pinsala na Pagproseso– Walang mga depekto sa ilalim ng ibabaw o pagbabago sa istruktura

Pare-parehong Pagganap– Gumagana nang pantay-pantay sa mga materyales na may iba't ibang katigasan

Low/Medium Frequency Correction– Tinatanggal ang mga error nang hindi bumubuo ng mga mid/high-frequency na artifact

Mababang Kinakailangan sa Pagpapanatili– Mahabang tuluy-tuloy na operasyon na may kaunting downtime

Pangunahing Teknikal na Pagtutukoy ng Ion Beam Polishing Machine

item	Pagtutukoy
Paraan ng Pagproseso	Ion sputtering sa isang high-vacuum na kapaligiran
Uri ng Pagproseso	Non-contact surface figuring at polishing
Max na Laki ng Workpiece	Φ4000 mm
Mga Motion Axes	3-axis / 5-axis
Katatagan ng Pag-alis	≥95%
Katumpakan ng Ibabaw	PV < 10 nm; RMS ≤ 0.5 nm (karaniwang RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Kakayahang Pagwawasto ng Dalas	Nag-aalis ng mga error na low-medium frequency nang hindi nagpapakilala ng mga error sa mid/high frequency
Patuloy na Operasyon	3-5 na linggo nang walang pagpapanatili ng vacuum
Gastos sa Pagpapanatili	Mababa

Mga Kakayahang Pagproseso ng Ion Beam Polishing Machine

Mga Sinusuportahang Uri ng Ibabaw

Simple: Flat, spherical, prism

Kumplikado: Symmetric/asymmetric asphere, off-axis asphere, cylindrical

Espesyal: Ultra-thin optics, slat optics, hemispherical optics, conformal optics, phase plates, freeform surface

Mga Suportadong Materyales

Optical glass: Quartz, microcrystalline, K9, atbp.

Infrared na materyales: Silicon, germanium, atbp.

Mga Metal: Aluminyo, hindi kinakalawang na asero, titanium alloy, atbp.

Mga kristal: YAG, single-crystal silicon carbide, atbp.

Matigas/marupok na materyales: Silicon carbide, atbp.

Kalidad ng Ibabaw / Katumpakan

PV < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

Pagproseso ng Mga Pag-aaral ng Kaso ng Ion Beam Polishing Machine

Case 1 – Karaniwang Flat Mirror

Workpiece: D630 mm quartz flat

Resulta: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

Case 2 – X-ray Reflective Mirror

Workpiece: 150 × 30 mm na flat na silikon

Resulta: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; Slope 0.13 µrad

Case 3 – Off-Axis Mirror

Workpiece: D326 mm off-axis ground mirror

Resulta: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

FAQ ng Mga Salaming Kuwarts

FAQ – Ion Beam Polishing Machine

Q1: Ano ang ion beam polishing?
A1:Ion beam polishing ay isang non-contact na proseso na gumagamit ng nakatutok na sinag ng mga ion (gaya ng mga argon ions) upang alisin ang materyal mula sa ibabaw ng workpiece. Ang mga ion ay pinabilis at nakadirekta patungo sa ibabaw, na nagiging sanhi ng pag-alis ng materyal na antas ng atomic, na nagreresulta sa mga ultra-smooth na pag-finish. Ang prosesong ito ay nag-aalis ng mekanikal na stress at pinsala sa ilalim ng ibabaw, na ginagawa itong perpekto para sa mga precision optical na bahagi.

Q2: Anong mga uri ng mga ibabaw ang maaaring iproseso ng Ion Beam Polishing Machine?
A2:AngIon Beam Polishing Machinemaaaring magproseso ng iba't ibang mga ibabaw, kabilang ang mga simpleng optical na bahagi tulad ngflat, sphere, at prisms, pati na rin ang mga kumplikadong geometries tulad ngaspheres, off-axis aspheres, atmga freeform na ibabaw. Lalo itong epektibo sa mga materyales tulad ng optical glass, infrared optics, metal, at matigas/malutong na materyales.

Q3: Anong mga materyales ang maaaring gamitin ng Ion Beam Polishing Machine?
A3:AngIon Beam Polishing Machinemaaaring magpakintab ng malawak na hanay ng mga materyales, kabilang ang:

Optical na salamin: Quartz, microcrystalline, K9, atbp.
Infrared na materyales: Silicon, germanium, atbp.
Mga metal: Aluminyo, hindi kinakalawang na asero, titanium alloy, atbp.
Mga materyales na kristal: YAG, single-crystal silicon carbide, atbp.
Iba pang matigas/marupok na materyales: Silicon carbide, atbp.

Tungkol sa Amin

Dalubhasa ang XKH sa high-tech na pagpapaunlad, produksyon, at pagbebenta ng mga espesyal na optical glass at mga bagong kristal na materyales. Nagsisilbi ang aming mga produkto ng optical electronics, consumer electronics, at militar. Nag-aalok kami ng Sapphire optical component, mga cover ng lens ng mobile phone, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, at semiconductor crystal wafers. Gamit ang dalubhasang kadalubhasaan at makabagong kagamitan, mahusay kami sa hindi karaniwang pagproseso ng produkto, na naglalayong maging isang nangungunang optoelectronic na materyales na high-tech na enterprise.