High-Performance Alumina Ceramic End Effector (Fork Arm) para sa Semiconductor at Cleanroom Automation

Maikling Paglalarawan:

Ang Alumina Ceramic End Effector, na tinutukoy din bilang isang ceramic fork arm o robotic ceramic hand, ay isang high-precision handling component na idinisenyo para sa mga automated system sa semiconductor, photovoltaic, panel display, at high-purity na kapaligiran sa laboratoryo. Ito ay inengineered upang magbigay ng pambihirang thermal stability, mechanical rigidity, at chemical resistance, na nag-aalok ng malinis, maaasahan, at ligtas na transportasyon ng mga sensitibong materyales gaya ng mga silicon wafer, glass substrates, at electronic micro-components.

Magpadala ng email sa amin

Mga tampok

Detalyadong Diagram

Panimula ng Produkto

Bilang isang uri ng robotic end effector, ang ceramic component na ito ang huling interface sa pagitan ng automation system at ng workpiece. Ito ay gumaganap ng isang kritikal na papel sa tumpak na paglipat, pag-align, paglo-load/pagbaba, at pagpoposisyon ng mga gawain sa mga cleanroom at vacuum na kapaligiran.

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-G13

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-G10

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-G07

Pangkalahatang-ideya ng Materyal – Alumina Ceramic (Al₂O₃)

Ang alumina ceramic ay isang mataas na matatag at chemically inert na teknikal na ceramic na materyal na kilala sa mahusay na mekanikal at elektrikal na katangian nito. Tinitiyak ng mataas na kadalisayan (≥ 99.5%) na alumina na ginagamit sa mga end effector na ito:

Mataas na tigas (Mohs 9): Pangalawa lamang sa brilyante, ang alumina ay nagbibigay ng matinding wear resistance.
Kakayahang mataas ang temperatura: Pinapanatili ang integridad ng istruktura sa itaas ng 1600°C.
Kawalang-kilos ng kemikal: Lumalaban sa mga acid, alkalis, solvents, at plasma etching environment.
Electrical insulation: Na may mataas na lakas ng dielectric at mababang pagkawala ng dielectric.
Mababang pagpapalawak ng thermal: Tinitiyak ang dimensional na katatagan sa mga thermal cycling na kapaligiran.
Mababang pagbuo ng butil: Mahalaga para sa pagiging tugma sa malinis na silid (Class 10 hanggang Class 1000).

Ginagawa ng mga feature na ito ang alumina ceramic na perpekto para sa mga operasyong kritikal sa misyon sa mga industriyang sensitibo sa kontaminasyon.

Mga Functional na Application

Ang alumina ceramic end effector ay malawakang ginagamit sa mga high-tech na pang-industriya na proseso, lalo na kung saan ang mga tradisyonal na metal o plastik na materyales ay kulang dahil sa thermal expansion, kontaminasyon, o mga isyu sa kaagnasan. Kabilang sa mga pangunahing field ng application ang:

Semiconductor wafer transfer
Photolithography loading at unloading system
Paghawak ng glass substrate sa mga linya ng OLED at LCD
Ang mala-kristal na silikon na wafer transfer sa paggawa ng solar cell
Automated optical o microelectronic inspeksyon
Sample na transportasyon sa analytical o biomedical lab
Vacuum na mga sistema ng automation ng kapaligiran

Ang kakayahan nitong gumanap nang hindi nagpapakilala ng mga particle o static na singil ay ginagawa itong kailangang-kailangan para sa tumpak na mga robotic na operasyon sa automation ng cleanroom.

Mga Tampok ng Disenyo at Pag-customize

Ang bawat ceramic end effector ay inengineered upang magkasya sa isang partikular na robotic arm o wafer handling system. Sinusuportahan namin ang buong pagpapasadya batay sa:

Pagkatugma sa laki ng wafer: 2", 4", 6", 8", 12" at higit pa
Geometry ng puwang at puwang: Tumatanggap ng edge grip, back side support, o notched wafer na disenyo
Mga suction port: Pinagsama-samang mga butas ng vacuum o channel para sa hindi contact na paghawak
Pag-mount ng configuration: Mga butas, mga thread, mga puwang na iniayon sa dulo ng tool flange ng iyong robot
Paggamot sa ibabaw: Pinakintab, lapped, o fine-ground finish (Ra < 0.2 µm available)
Proteksyon sa gilid: Bilugan ang mga sulok o chamfering upang maiwasan ang pagkasira ng wafer

Sa pamamagitan ng paggamit ng mga CAD drawing o 3D na modelo na ibinigay ng mga customer, ma-optimize ng aming mga engineer ang bawat braso ng tinidor para sa timbang, lakas, at kalinisan.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Mga Bentahe ng Ceramic End Effectors

Tampok	Benepisyo
Mataas na Mechanical Rigidity	Pinapanatili ang dimensional na katumpakan sa ilalim ng robotic loading forces
Napakahusay na Thermal Performance	Gumagana nang mapagkakatiwalaan sa mga high-temp o plasma na kapaligiran
Zero Metal Contamination	Walang panganib ng kontaminasyon ng ion sa kritikal na pagproseso ng semiconductor
Mababang Friction Surface	Binabawasan ang panganib ng scratch sa wafer o glass substrates
Anti-Static at Non-Magnetic	Hindi umaakit ng alikabok o nakakaapekto sa magnetic-sensitive na mga bahagi
Mahabang Buhay ng Serbisyo	Superior wear resistance sa paulit-ulit na high-speed automation cycle
Napakalinis na Pagkakatugma	Angkop para sa ISO 14644 cleanrooms (Class 100 and below)

Kung ikukumpara sa plastic o aluminum arm, ang alumina ceramic ay nagbibigay ng kapansin-pansing pinahusay na kemikal at pisikal na katatagan na may kaunting mga kinakailangan sa pagpapanatili.

Ari-arian	Braso ng Metal	Plastic na Braso	Alumina Ceramic Arm
Katigasan	Katamtaman	Mababa	Napakataas (Mohs 9)
Thermal Stability	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Paglaban sa Kemikal	Katamtaman	mahirap	Mahusay
Kaangkupan sa Cleanroom	Katamtaman	Mababa	Napakataas
Wear Resistance	Katamtaman	Mababa	Natitirang
Lakas ng Dielectric	Mababa	Katamtaman	Mataas
Custom Machining Precision	Limitado	Katamtaman	Mataas (±0.01mm posible)

Teknikal na Pagtutukoy

Parameter	Halaga
materyal	High-purity Alumina (≥ 99.5%)
Temperatura sa Paggawa	Hanggang 1600°C
Pagkagaspang sa Ibabaw	Ra ≤ 0.2 µm (opsyonal)
Mga Katugmang Laki ng Wafer	2" hanggang 12" o custom
Flatness Tolerance	±0.01 mm (depende sa aplikasyon)
Suporta sa Vacuum Suction	Opsyonal, nako-customize na mga channel
Mga Pagpipilian sa Pag-mount	Bolt-through, flange, slotted na mga butas

Mga Madalas Itanong (FAQ)

Q1: Maaari bang isama ang end effector sa mga umiiral na robotic system?
A1:Oo. Sinusuportahan namin ang pagpapasadya batay sa iyong robotic interface. Maaari kang magpadala sa amin ng CAD drawing o mga dimensyon ng flange para sa tumpak na pagbagay.

Q2: Ang mga ceramic arm ba ay madaling masira habang ginagamit?
A2:Habang ang ceramic ay likas na malutong, ang aming mga disenyo ay gumagamit ng naka-optimize na geometry upang mabawasan ang konsentrasyon ng stress. Sa ilalim ng wastong mga kondisyon ng paggamit, nagbibigay sila ng mas mahabang buhay ng serbisyo kaysa sa metal o plastik.

Q3: Posible bang gamitin ito sa ultra-high vacuum o plasma etching chambers?
A3:Oo. Ang alumina ceramic ay non-outgassing, thermally stable, at corrosion resistant—perpektong angkop para sa high-vacuum, reactive gas, o plasma environment.

T4: Paano nililinis o pinapanatili ang mga bahaging ito?
A4:Maaari silang linisin gamit ang DI water, alkohol, o mga panlinis na tugma sa silid. Walang kinakailangang espesyal na pagpapanatili dahil sa kanilang kemikal na katatagan at hindi gumagalaw na ibabaw.

Tungkol sa Amin

Dalubhasa ang XKH sa high-tech na pagpapaunlad, produksyon, at pagbebenta ng mga espesyal na optical glass at mga bagong kristal na materyales. Nagsisilbi ang aming mga produkto ng optical electronics, consumer electronics, at militar. Nag-aalok kami ng Sapphire optical component, mga cover ng lens ng mobile phone, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, at semiconductor crystal wafers. Gamit ang dalubhasang kadalubhasaan at makabagong kagamitan, mahusay kami sa hindi karaniwang pagproseso ng produkto, na naglalayong maging isang nangungunang optoelectronic na materyales na high-tech na enterprise.