Diametro 300x1.0mmt Kapal na Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP
Pagpapakilala ng kahon ng wafer
| Mga Materyales na Kristal | 99,999% ng Al2O3, Mataas na Kadalisayan, Monocrystalline, Al2O3 | |||
| Kalidad ng kristal | Walang mga inklusyon, bloke, kambal, kulay, micro-bula at mga dispersal center. | |||
| Diyametro | 2 pulgada | 3 pulgada | 4 na pulgada | 6 na pulgada ～ 12 pulgada |
| 50.8± 0.1mm | 76.2±0.2mm | 100±0.3mm | Alinsunod sa mga probisyon ng karaniwang produksyon | |
| Kapal | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Maaaring ipasadya ng customer |
| Oryentasyon | C-plane (0001) hanggang M-plane (1-100) o A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-plane (1-1 0 2), A-plane (1 1-2 0), M-plane(1-1 0 0), Anumang Oryentasyon, Anumang anggulo | |||
| Pangunahing haba ng patag | 16.0±1mm | 22.0±1.0mm | 32.5±1.5 mm | Alinsunod sa mga probisyon ng karaniwang produksyon |
| Pangunahing patag na Oryentasyon | A-plane (1 1-2 0) ± 0.2° | |||
| TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Yumuko | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Warp | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
| Harap na Ibabaw | Pinakintab na Epi (Ra< 0.2nm) | |||
*Pangulo: Ang paglihis ng sentrong punto ng median surface ng isang malaya at hindi naka-clamp na wafer mula sa reference plane, kung saan ang reference plane ay tinutukoy ng tatlong sulok ng isang equilateral triangle.
*Warp: Ang pagkakaiba sa pagitan ng pinakamataas at pinakamababang distansya ng median na ibabaw ng isang malaya at hindi naka-clamp na wafer mula sa reference plane na tinukoy sa itaas.
Mga de-kalidad na produkto at serbisyo para sa mga susunod na henerasyon ng mga semiconductor device at epitaxial growth:
Mataas na antas ng pagkapatag (kinokontrol na TTV, pana, warp atbp.)
Mataas na kalidad na paglilinis (mababang kontaminasyon ng particle, mababang kontaminasyon ng metal)
Pagbabarena ng substrate, pag-ukit, pagputol, at pagpapakintab sa likurang bahagi
Pagkakabit ng datos tulad ng kalinisan at hugis ng substrate (opsyonal)
Kung kailangan mo ng mga substrate na sapiro, huwag mag-atubiling makipag-ugnayan sa:
koreoeric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Babalik kami sa iyo sa lalong madaling panahon!
Detalyadong Dayagram
