Alumina Ceramic End Effector / Fork Arm para sa Wafer at Substrate Handling
Detalyadong Diagram


Pangkalahatang-ideya ng Alumina Ceramic End Effector

Ang Alumina Ceramic End Effector, na karaniwang tinutukoy bilang isang ceramic fork arm o ceramic gripper, ay isang kritikal na tool na ginagamit sa robotic automation at cleanroom production lines. Ang Alumina Ceramic End Effector ay naka-install sa robotic arm bilang panghuling interface sa produkto, na responsable sa pagpili, paghawak, pag-align, at paglilipat ng mga masyadong sensitibong bahagi gaya ng mga silicon wafer, glass panel, o microelectronic na bahagi.
Ginawa mula sa ultra-pure alumina ceramic (Al2O3), ang fork arm na ito ay nagbibigay ng pambihirang malinis at matatag na solusyon para sa mga kapaligiran kung saan hindi matitiis ang kontaminasyon ng metal, plastic deformation, o pagbuo ng particle.
Mga Katangian ng Materyal – Bakit Alumina
Tungkol sa Alumina Ceramic End Effector,Alumina (Al2O3) ay isa sa pinakamatatag at maaasahanadvanced engineering ceramics. Ang grade na ginagamit namin (≥99.5% purity) ay nag-aalok ng kakaibang kumbinasyon ng mga pisikal at kemikal na katangian na ginagawa itong materyal na pinili para sa semiconductor at vacuum application:
-
Sobrang tigas– Sa Mohs hardness rating na 9, nag-aalok ito ng pangmatagalang tibay at scratch resistance.
-
Thermal na pagtitiis– Pinapanatili ang integridad ng istruktura na lampas sa 1600°C, mas mahusay ang pagganap ng mga metal at polymer na katapat.
-
Electrical insulation– Tinatanggal ang static buildup at nagbibigay ng buong dielectric na proteksyon.
-
Imyunidad sa kemikal– Hindi naaapektuhan ng mga acid, alkalis, plasma gas, at mga agresibong solusyon sa paglilinis.
-
Napakababang panganib sa kontaminasyon– Non-outgassing, low-friction surface na pinapaliit ang paglabas ng particle sa mga cleanroom.
Ang mga katangiang ito ay nagbibigay-daan sa mga alumina ceramic end effector na gumana nang walang kamali-mali sa malupit at mataas na katumpakan na mga kapaligiran.
Mga Pangunahing Aplikasyon ng Alumina Ceramic End Effector
Ang versatility ng alumina ceramic end effectorfork arm ay ginagawa itong mahalaga sa maraming high-tech na industriya:
-
Semiconductor wafer transport system– Ligtas na inililipat ang mga silicon na wafer mula sa proseso patungo sa proseso nang walang mga micro-scratches.
-
Flat panel display produksyon– Paghawak ng marupok na mga substrate ng salamin para sa OLED, LCD, o microLED na katha.
-
Paggawa ng Photovoltaic (PV).– Pagsuporta sa solar wafer loading at unloading sa ilalim ng high-speed robotic cycles.
-
Optical at electronic component assembly– Paghawak sa mga maselang bahagi tulad ng mga sensor, resistor, at maliliit na chip.
-
Vacuum at cleanroom automation– Gumagawa ng mga gawaing katumpakan sa napakalinis, mga kundisyon na kontrolado ng particle.
Sa bawat senaryo, ang Alumina Ceramic End Effector ay nagbibigay ng mahalagang link sa pagitan ng robotic automation at ang produktong inililipat.
Mga Opsyon sa Disenyo at Pag-customize ng Alumina Ceramic End Effector
Ang bawat linya ng produksyon ay may natatanging mga kinakailangan. Samakatuwid, nagbibigay kami ng mga pinasadyang Alumina Ceramic End Effector na solusyon para sa iba't ibang laki ng wafer, robotic system, at mga paraan ng paghawak:
Pagkatugma ng wafer: Hinahawakan ang mga wafer mula 2" hanggang 12" at maaaring i-scale para sa mga custom na bahagi.
Mga opsyon sa geometry: Single fork, dual fork, multi-slot, o custom na mga hugis na may pinagsamang mga recess.
Vacuum handling: Opsyonal na mga vacuum suction channel para sa contactless wafer support.
Mga mounting interface: Mga custom na bolt hole, flanges, o slotted na disenyo upang magkasya sa anumang robotic arm.
Mga surface finish: Pinakintab o sobrang tapos na mga surface (hanggang Ra < 0.15 μm).
Mga profile sa gilid: Chamfered o bilugan na mga gilid para sa maximum na proteksyon ng wafer.
Ang aming Alumina Ceramic End Effector engineering team ay maaaring gumana mula sa mga guhit ng CAD ng customer o mga sample na bahagi, na tinitiyak ang tuluy-tuloy na pagsasama sa mga kasalukuyang sistema ng automation.
Mga Pangunahing Benepisyo ng Alumina Ceramic End Effectors
Tampok | Bakit Ito Mahalaga |
---|---|
Dimensional na katumpakan | Pinapanatili ang perpektong pagkakahanay kahit na sa high-speed, paulit-ulit na mga cycle. |
Hindi nakakahawa | Gumagawa ng halos walang mga particle, nakakatugon sa mahigpit na mga pangangailangan sa malinis na silid. |
Heat at corrosion proof | Tinitiis ang mga agresibong hakbang sa pagproseso at mga thermal shock. |
Walang static charge | Pinoprotektahan ang mga sensitibong wafer at mga bahagi mula sa electrostatic na panganib. |
Magaan ngunit matibay | Nag-aalok ng mataas na higpit nang hindi nakompromiso ang robotic arm load. |
Pinahabang buhay ng serbisyo | Outperforms metal at polymer arm sa habang-buhay at pagiging maaasahan. |
Paghahambing ng Materyal ng Alumina Ceramic End Effector
Katangian | Plastic Fork Arm | Aluminum/Metal Fork Arm | Alumina Ceramic Fork Arm |
---|---|---|---|
Katigasan | Mababa | Katamtaman | Napakataas |
Thermal Range | ≤ 150°C | ≤ 500°C | Hanggang 1600°C |
Katatagan ng Kemikal | mahirap | Katamtaman | Mahusay |
Rating ng Cleanroom | Mababa | Katamtaman | Tamang-tama para sa Class 100 o mas mataas |
Wear Resistance | Limitado | Mabuti | Natitirang |
Antas ng Pag-customize | Katamtaman | Limitado | Malawak |
Mga Madalas Itanong(FAQ)ng Alumina Ceramic End Effector
Q1: Ano ang pinagkaiba ng alumina ceramic end effector sa metal?
A1:Hindi tulad ng aluminum o steel arms, ang alumina ceramic ay hindi nabubulok, nagpapa-deform, o nagpapapasok ng mga metal na ion sa mga proseso ng semiconductor. Ito ay nananatiling dimensional na matatag sa ilalim ng matinding mga kondisyon at halos walang mga particle.
Q2: Maaari bang gamitin ang Alumina Ceramic End Effector na ito sa mga high-vacuum at plasma chamber?
A2:Oo. Ang alumina ceramic ayhindi naglalabas ng gasat lumalaban sa plasma, na ginagawa itong isang ginustong materyal para sa vacuum processing at etching equipment.
Q3: Gaano nako-customize ang mga Alumina Ceramic End Effector fork arm na ito?
A3:Ang bawat unit ay maaaringganap na na-customize—kabilang ang hugis, mga puwang, mga butas sa pagsipsip, istilo ng pag-mount, at pagtatapos sa gilid—upang tumugma sa mga kinakailangan ng iyong robotic system.
Q4: Marupok ba sila?
A4:Habang ang ceramic ay may natural na brittleness, ang aming design engineering ay namamahagi ng load nang pantay-pantay at pinapaliit ang mga stress point. Kapag hinahawakan nang tama, ang buhay ng serbisyo ay kadalasang lumalampas sa mga alternatibong metal o polimer.
Tungkol sa Amin
Dalubhasa ang XKH sa high-tech na pagpapaunlad, produksyon, at pagbebenta ng mga espesyal na optical glass at mga bagong kristal na materyales. Nagsisilbi ang aming mga produkto ng optical electronics, consumer electronics, at militar. Nag-aalok kami ng Sapphire optical component, mga cover ng lens ng mobile phone, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, at semiconductor crystal wafers. Gamit ang dalubhasang kadalubhasaan at makabagong kagamitan, mahusay kami sa hindi karaniwang pagproseso ng produkto, na naglalayong maging isang nangungunang optoelectronic na materyales na high-tech na enterprise.
