6inch SiC Epitaxiy wafer N/P type tumatanggap ng customized
Ang proseso ng paghahanda ng silicon carbide epitaxial wafer ay isang paraan gamit ang teknolohiyang Chemical Vapor Deposition (CVD).Ang mga sumusunod ay ang mga nauugnay na teknikal na prinsipyo at mga hakbang sa proseso ng paghahanda:
Teknikal na prinsipyo:
Chemical Vapor Deposition: Ang paggamit ng hilaw na materyal na gas sa gas phase, sa ilalim ng mga partikular na kondisyon ng reaksyon, ito ay nabubulok at idineposito sa substrate upang mabuo ang nais na manipis na pelikula.
Gas-phase reaction: Sa pamamagitan ng pyrolysis o cracking reaction, ang iba't ibang hilaw na materyal na gas sa gas phase ay chemically na binago sa reaction chamber.
Mga hakbang sa proseso ng paghahanda:
Paggamot ng substrate: Ang substrate ay sumasailalim sa paglilinis at pretreatment sa ibabaw upang matiyak ang kalidad at pagkakristal ng epitaxial wafer.
Reaction chamber debugging: ayusin ang temperatura, presyon at daloy ng rate ng reaksyon kamara at iba pang mga parameter upang matiyak ang katatagan at kontrol ng mga kondisyon ng reaksyon.
Pagsusuplay ng hilaw na materyal: ibigay ang kinakailangang gas raw na materyales sa silid ng reaksyon, paghahalo at pagkontrol sa bilis ng daloy kung kinakailangan.
Proseso ng reaksyon: Sa pamamagitan ng pag-init ng reaction chamber, ang gaseous feedstock ay sumasailalim sa isang kemikal na reaksyon sa chamber upang makagawa ng gustong deposito, ibig sabihin, silicon carbide film.
Paglamig at pagbabawas: Sa pagtatapos ng reaksyon, ang temperatura ay unti-unting binabaan upang palamig at patigasin ang mga deposito sa silid ng reaksyon.
Epitaxial wafer annealing at post-processing: ang nakadeposito na epitaxial wafer ay nilagyan ng annealed at post-process para mapabuti ang electrical at optical properties nito.
Ang mga tiyak na hakbang at kundisyon ng proseso ng paghahanda ng silicon carbide epitaxial wafer ay maaaring mag-iba depende sa partikular na kagamitan at kinakailangan.Ang nasa itaas ay isang pangkalahatang daloy ng proseso at prinsipyo lamang, ang partikular na operasyon ay kailangang ayusin at i-optimize ayon sa aktwal na sitwasyon.
Detalyadong Diagram
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)