4H/6H-P 6inch SiC wafer Zero MPD grade Production Grade Dummy Grade
4H/6H-P Type SiC Composite Substrates Karaniwang talahanayan ng parameter
6 pulgadang diyametro Silicon Carbide (SiC) Substrate Pagtutukoy
Grade | Zero MPD ProductionMarka (Z grado) | Pamantayang ProduksyonMarka (P grado) | Dummy Grade (D grado) | ||
diameter | 145.5 mm~150.0 mm | ||||
kapal | 350 μm ± 25 μm | ||||
Oryentasyon ng Wafer | -Offaxis: 2.0°-4.0°patungo sa [1120] ± 0.5° para sa 4H/6H-P, Sa axis:〈111〉± 0.5° para sa 3C-N | ||||
Densidad ng Micropipe | 0 cm-2 | ||||
Resistivity | p-type 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
n-type 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Pangunahing Flat na Oryentasyon | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
Pangunahing Flat na Haba | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Pangalawang Flat na Haba | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Pangalawang Flat na Oryentasyon | Silicon face up: 90° CW. mula sa Prime flat ± 5.0° | ||||
Pagbubukod ng Edge | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bow /Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Kagaspangan | Polish Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Mga Bitak sa Gilid Sa pamamagitan ng Mataas na Intensity Light | wala | Pinagsama-samang haba ≤ 10 mm, solong haba≤2 mm | |||
Hex Plate Sa pamamagitan ng High Intensity Light | Pinagsama-samang lugar ≤0.05% | Pinagsama-samang lugar ≤0.1% | |||
Mga Polytype na Lugar Sa pamamagitan ng High Intensity Light | wala | Pinagsama-samang lugar≤3% | |||
Visual Carbon Inclusions | Pinagsama-samang lugar ≤0.05% | Pinagsama-samang lugar ≤3% | |||
Mga Gasgas sa Ibabaw ng Silicon Sa pamamagitan ng High Intensity Light | wala | Pinagsama-samang haba≤1×wafer diameter | |||
Edge Chips High By Intensity Light | Walang pinahihintulutan na ≥0.2mm ang lapad at lalim | 5 ang pinapayagan, ≤1 mm bawat isa | |||
Silicon Surface Contamination Sa pamamagitan ng High Intensity | wala | ||||
Packaging | Multi-wafer Cassette o Single Wafer Container |
Mga Tala:
※ Nalalapat ang mga limitasyon sa mga depekto sa buong ibabaw ng wafer maliban sa lugar na hindi kasama sa gilid. # Dapat suriin ang mga gasgas sa mukha ng Si o
Ang 4H/6H-P type 6-inch SiC wafer na may Zero MPD grade at production o dummy grade ay malawakang ginagamit sa mga advanced na electronic application. Ang mahusay na thermal conductivity, mataas na breakdown voltage, at paglaban sa malupit na kapaligiran ay ginagawa itong perpekto para sa mga power electronics, tulad ng mga high-voltage switch at inverters. Tinitiyak ng Zero MPD grade ang kaunting mga depekto, kritikal para sa mga device na may mataas na pagiging maaasahan. Ginagamit ang production-grade wafer sa malakihang pagmamanupaktura ng mga power device at RF application, kung saan mahalaga ang performance at precision. Ang mga dummy-grade wafer, sa kabilang banda, ay ginagamit para sa pag-calibrate ng proseso, pagsubok ng kagamitan, at prototyping, na nagpapagana ng pare-parehong kontrol sa kalidad sa mga kapaligiran ng produksyon ng semiconductor.
Kasama sa mga bentahe ng N-type na SiC composite substrates
- Mataas na Thermal Conductivity: Ang 4H/6H-P SiC wafer ay mahusay na nagpapalabas ng init, na ginagawa itong angkop para sa mataas na temperatura at mataas na kapangyarihan na mga elektronikong aplikasyon.
- Mataas na Breakdown Voltage: Ang kakayahan nitong humawak ng matataas na boltahe nang walang pagkabigo ay ginagawa itong perpekto para sa mga power electronics at high-voltage switching application.
- Zero MPD (Micro Pipe Defect) Grade: Tinitiyak ng pinakamababang density ng depekto ang mas mataas na pagiging maaasahan at pagganap, kritikal para sa hinihingi na mga elektronikong aparato.
- Production-Grade para sa Mass Manufacturing: Angkop para sa malakihang produksyon ng mga high-performance na semiconductor device na may mahigpit na pamantayan ng kalidad.
- Dummy-Grade para sa Pagsubok at Pag-calibrate: Pinapagana ang pag-optimize ng proseso, pagsubok ng kagamitan, at prototyping nang hindi gumagamit ng mga wafer na may mataas na halaga sa produksyon.
Sa pangkalahatan, ang 4H/6H-P 6-inch SiC wafers na may Zero MPD grade, production grade, at dummy grade ay nag-aalok ng makabuluhang mga pakinabang para sa pagbuo ng mga high-performance na electronic device. Ang mga wafer na ito ay partikular na kapaki-pakinabang sa mga application na nangangailangan ng mataas na temperatura na operasyon, mataas na density ng kuryente, at mahusay na conversion ng kuryente. Tinitiyak ng Zero MPD grade ang kaunting mga depekto para sa maaasahan at matatag na performance ng device, habang sinusuportahan ng production-grade wafers ang malakihang pagmamanupaktura na may mahigpit na kontrol sa kalidad. Ang mga dummy-grade na wafer ay nagbibigay ng isang cost-effective na solusyon para sa pag-optimize ng proseso at pag-calibrate ng kagamitan, na ginagawa itong kailangang-kailangan para sa high-precision na semiconductor fabrication.